Polovodičové keramické části

Polovodičové keramické části patří k pokročilé keramice a jsou nezbytnou součástí procesu výroby polovodičů. Suroviny pro přípravu jsou obvykle vysoce čisté, ultra jemné anorganické materiály, jako je oxid hlinitý, křemíkový karbid, nitrid hlinitý, nitrid křemíku, oxid yttrium, oxid zirkonia atd.

Oxid hlinitý

Je široce používán a výkon produktu se liší podle čistoty. 95% čistota je světle žlutá a 99% čistota je sněhová bílá. Má vynikající rigiditu, pevnost, odolnost proti opotřebení, odolnost proti vysoké teplotě a odolnost proti korozi a lze jej použít k přípravě většiny polovodičových keramických částí, jako jsou keramické trysky, keramické paže atd.

Křemíkový karbid

Je černá, má vysokou tepelnou vodivost, vysokou pevnost a tvrdost, lehkou hmotnost, dobrý odolnost proti nárazům a často se používá k přípravě vakuových ramen a vakuových sacích šálků.

Hliníkový nitrid

Má vysokou tepelnou vodivost, koeficient tepelné roztažení, který odpovídá křemikonu, nízkou dielektrickou konstantu a dielektrickou ztrátu, a lze jej použít k provedení substrátů rozptylu tepla, keramických trysek atd.

Křemíkový nitrid

Vysoký bod tání, ultra vysoká tvrdost, vysoká chemická inertnost, nízký koeficient tepelné roztažnosti, vysoká tepelná vodivost, dobrá odolnost proti tepelnému nárazu, vysoká odolnost proti nárazu a pevnost pod 1200 ℃, často používané k výrobě keramických substrátů, keramických zkumavek atd.

Oxid yttrium

Vysoký bod tání, dobrá chemická a fotochemická stabilita, vysoká tepelná vodivost, dobrá propustnost světla, často kombinovaná s oxidem a oxidem, za účelem výroby keramických oken.

Oxid zirkonia

Vysoká mechanická pevnost, odolnost proti vysoké teplotě, odolnost proti kyselině a alkalii, dobrá izolace, podle odlišného obsahu lze vyrobit keramickým výrobkům pro různé účely, jako jsou substráty integrovaného obvodu atd.

Typy dílů:

„All-Rounder“ polovodičové keramické části s různými funkcemi se široce používají v různých typech polovodičových klíčových zařízení, zejména následující:

Polovodičová keramická rameno

Při přepravě oplatků hraje roli v polovodičovém vybavení a musí pracovat ve vakuovém čistém prostředí. Hliní je obvykle připravena z vysoce čistého oxidu nebo křemíkového karbidu, je nákladově efektivní a používá se více.

Keramický substrát

Aplikuje se v různých elektronických obalových polích, jako jsou napájecí elektronická zařízení, lasery atd., A často se připravuje z materiálů, jako je alumina a nitrid křemíku.

Keramická tryska

V HDP-CVD jeho kvalita ovlivňuje čistotu a průtok reakčního plynu. Keramika nitridu hliníku je vhodnější pro pokročilé procesní vybavení kvůli jejich vynikajícímu výkonu.

Keramické okno

Je to klíčová součást polovodičového leptače. Může být vakuové utěsněné bez ovlivnění penetrace plazmy. Obvykle je vyrobena z vysoce čistého oxidu a oxidu yttrie.

Kryta keramické komory

Je to klíčová součást zařízení pro depozice tenkého filmu, což je zásadní pro zajištění kvality oplatky a utěsnění reakční komory.

Keramické vakuové sklíčivo

Používá se k umístění a upevnění křemíkové oplatky. Je to porézní keramika vyrobená ze dvou keramických materiálů.

Proces přípravy:

Proces přípravy polovodičových keramických částí „řemeslné“ je komplikovaný, zejména včetně následujících kroků:

Příprava prášku

Suroviny musí být přepracovány a surový prášek, který splňuje požadavky, se získává dávkováním, mechanickým frézováním kuličkami, sušením a dalšími procesy.

Práškové lišty

K výrobě prášku do keramického zeleného těla se běžně používá suché lisování, izostatické lisování, lití pásky, lisování vstřikování, formování gelu a další metody.

Sližení na vysoké teplotě

Keramické zelené tělo se transformuje na husté vařené tělo prostřednictvím normálního tlaku slinování, vakuového slinování, slinování atmosféry a dalšími metodami.

Přesné obrábění

Slinované keramické vařené tělo se zpracovává pomocí soustruhů CNC, brusky atd. Pro dosažení požadované velikosti a přesnosti.

Inspekce kvality

Pro zajištění kvality produktu se testuje vzhled, velikost, porozita, drsnost a další vlastnosti keramických částí.

Povrchové úpravy

Povrch produktů, které procházejí inspekcí kvality, je vyčištěn a pro zvláštní potřeby je nutné další povrchové ošetření, jako je stříkání oblouku, postřik v plazmě atd.

Semicorex nabízí vysoce kvalitníkeramické částiv polovodiči. Pokud máte nějaké dotazy nebo potřebujete další podrobnosti, neváhejte se s námi spojit.

Kontaktní telefon # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com