Během zpracování musí být polovodičové destičky zahřívány ve specializovaných pecích. Reaktor se skládá z podlouhlých, válcových trubek, ve kterých jsou destičky umístěny na destičkách v předem stanovené, stejně vzdálené vzdálenosti. Aby přežily podmínky zpracování v komoře a aby se minimalizoval odpad do destiček ze zpracovatelského zařízení, jsou destičkové čluny a mnoho dalších další zařízení používaná při zpracování plátků jsou vyrobena z materiálu, jako je karbid křemíku (SiC).
Čluny, naložené dávkou oplatek, které mají být zpracovány, jsou umístěny na dlouhých konzolových lopatkách, pomocí kterých mohou být vkládány do trubkových pecí a reaktorů a vytahovány z nich. Lopatky zahrnují zploštělou nosnou část, na kterou může být umístěna jedna nebo více lodí, a dlouhou rukojeť, umístěnou na jednom konci zploštělé nosné sekce, pomocí které lze s pádlem manipulovat.
Konzolové pádlo se doporučuje používat rekrystalizovaný karbid křemíku s tenkou vrstvou CVD SiC, což je vysoká čistota a nejlepší volba pro součástky při zpracování polovodičů.
Semicorex může poskytnout přizpůsobené služby podle výkresů a pracovního prostředí.
Semicorex High Purity SiC Cantilever Paddle je vyroben z vysoce čisté slinuté SiC keramiky, která je konstrukční částí v horizontální peci v polovodiči. Semicorex je zkušená společnost, která dodává SiC součástky v polovodičovém průmyslu.*
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex SiC Ceramic Paddle je vysoce čistý konzolový komponent navržený pro polovodičové vysokoteplotní pece, primárně používaný v oxidačních a difúzních procesech. Volba Semicorex znamená získání přístupu k pokročilým keramickým řešením, která zajišťují výjimečnou stabilitu, čistotu a odolnost pro kritické aplikace při manipulaci s destičkami.*
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex SiC Lopatky jsou vysoce čisté konzolové rameno z karbidu křemíku určené pro transport plátků ve vysokoteplotních oxidačních a difúzních pecích nad 1000℃. Volba Semicorex znamená zajistit výjimečnou kvalitu materiálu, precizní konstrukci a dlouhodobou spolehlivost, které důvěřují přední výrobci polovodičů.*
Přečtěte si víceOdeslat dotaz