Během zpracování musí být polovodičové destičky zahřívány ve specializovaných pecích. Reaktor se skládá z podlouhlých válcových trubek, ve kterých jsou destičky umístěny na oplatkových člunech v předem stanovené, ekvidistantní vzdálenosti. Aby přežily podmínky zpracování v komoře a minimalizovaly odpad do destiček ze zpracovatelského zařízení, waferové čluny a mnoho dalších další zařízení používaná při zpracování plátků jsou vyrobena z materiálu, jako je karbid křemíku (SiC).
Čluny, naložené dávkou oplatek, které mají být zpracovány, jsou umístěny na dlouhých konzolových lopatkách, pomocí kterých mohou být vkládány do trubkových pecí a reaktorů a vytahovány z nich. Lopatky zahrnují zploštělou nosnou část, na kterou může být umístěna jedna nebo více lodí, a dlouhou rukojeť, umístěnou na jednom konci zploštělé nosné sekce, pomocí které lze s pádlem manipulovat.
Konzolové pádlo se doporučuje používat rekrystalizovaný karbid křemíku s tenkou vrstvou CVD SiC, který je vysoce čistý a je nejlepší volbou pro součástky při zpracování polovodičů.
Semicorex může poskytnout přizpůsobené služby podle výkresů a pracovního prostředí.
Konzolová lopatka Semicorex SiC (karbid křemíku) je klíčová součást používaná v procesech výroby polovodičů, zejména v difuzních pecích nebo pecích LPCVD (nízkotlaká chemická depozice z plynů) během procesů, jako je difúze a RTP (Rapid Thermal Processing). SiC Cantilever Paddle má bezpečně nést polovodičové destičky v procesní trubici během různých vysokoteplotních procesů, jako je difúze a RTP. Slouží k podpírání a přepravě plátků v procesní trubce těchto pecí. Semicorex se zavázal poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazKonzolová lopatka z karbidu křemíku Semicorex je specializovaný komponent používaný v pecích pro různé aplikace tepelného zpracování. Semicorex se zavázal poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazVelká zatěžovací síla plátku keramická konzolová lopatka z karbidu křemíku SiC je vhodná pro robotický automatický nakládací a manipulační systém, protože má stabilní výkon, nedeformuje se při vysoké teplotě a velkou zatěžovací sílu plátku. Semicorex se zavázal poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotaz