Během zpracování musí být polovodičové destičky zahřívány ve specializovaných pecích. Reaktor se skládá z podlouhlých, válcových trubek, ve kterých jsou destičky umístěny na destičkách v předem stanovené, stejně vzdálené vzdálenosti. Aby přežily podmínky zpracování v komoře a aby se minimalizoval odpad do destiček ze zpracovatelského zařízení, jsou destičkové čluny a mnoho dalších další zařízení používaná při zpracování plátků jsou vyrobena z materiálu, jako je karbid křemíku (SiC).
Čluny, naložené dávkou oplatek, které mají být zpracovány, jsou umístěny na dlouhých konzolových lopatkách, pomocí kterých mohou být vkládány do trubkových pecí a reaktorů a vytahovány z nich. Lopatky zahrnují zploštělou nosnou část, na kterou může být umístěna jedna nebo více lodí, a dlouhou rukojeť, umístěnou na jednom konci zploštělé nosné sekce, pomocí které lze s pádlem manipulovat.
Konzolové pádlo se doporučuje používat rekrystalizovaný karbid křemíku s tenkou vrstvou CVD SiC, což je vysoká čistota a nejlepší volba pro součástky při zpracování polovodičů.
Semicorex může poskytnout přizpůsobené služby podle výkresů a pracovního prostředí.