Semicorex je váš partner pro zlepšení v oblasti zpracování polovodičů. Naše povlaky z karbidu křemíku jsou husté, odolné vůči vysokým teplotám a chemikáliím, které se často používají v celém cyklu výroby polovodičů, včetně zpracování polovodičových destiček a destiček a výroby polovodičů.
Vysoce čisté keramické komponenty SiC jsou klíčové pro procesy v polovodičích. Naše nabídka sahá od spotřebních dílů pro zařízení na zpracování plátků, jako je člun z karbidu křemíku, konzolová pádla, trubice atd. pro epitaxi nebo MOCVD.
Výhody pro polovodičové procesy
Fáze nanášení tenkého filmu, jako je epitaxe nebo MOCVD, nebo zpracování s plátkem, jako je leptání nebo iontový implantát, musí vydržet vysoké teploty a drsné chemické čištění. Semicorex dodává vysoce čistá konstrukce karbidu křemíku (SiC), která poskytuje vynikající tepelnou odolnost a trvalou chemickou odolnost, rovnoměrnou tepelnou rovnoměrnost pro konzistentní tloušťku a odolnost epi vrstvy.
Víka komor →
Víka komory používaná při růstu krystalů a zpracování oplatek musí vydržet vysoké teploty a drsné chemické čištění.
Konzolové pádlo →
Cantilever Paddle je klíčová součást používaná v procesech výroby polovodičů, zejména v difúzních nebo LPCVD pecích během procesů, jako je difúze a RTP.
Procesní trubice →
Process Tube je klíčová součást, speciálně navržená pro různé aplikace zpracování polovodičů, jako je RTP, difúze.
Oplatkové čluny →
Wafer Boat se používá při zpracování polovodičů a byl pečlivě navržen tak, aby zajistil, že jemné oplatky budou během kritických fází výroby v bezpečí.
Vstupní kroužky →
Vstupní prstenec plynu potažený SiC zařízením MOCVD Růst sloučeniny má vysokou tepelnou a korozivzdornou odolnost, která má velkou stabilitu v extrémním prostředí.
Zaostřovací kroužek →
Semicorex dodává Ostřící kroužek potažený karbidem křemíku je opravdu stabilní pro RTA, RTP nebo drsné chemické čištění.
Oplatka Chuck →
Ultra-plochá keramická vakuová destičková sklíčidla Semicorex jsou vysoce čistá SiC potažená při procesu manipulace s destičkami.
Semicorex má také keramické výrobky z oxidu hlinitého (Al2O3), nitridu křemíku (Si3N4), nitridu hliníku (AIN), oxidu zirkoničitého (ZrO2), kompozitní keramiky atd.
Kelímky z nitridu boru lisované za tepla, speciálně navržené pro aplikace při extrémních teplotách, jsou nepostradatelné keramické nádoby, které slouží jako skvělé řešení pro procesy tavení a odpařování kovů a procesy růstu polovodičových krystalů.
Přečtěte si víceOdeslat dotazTrubice pro ochranu termočlánků SIC, vyrobené z vysoce kvalitních materiálů z karbidu křemíku, jsou pokročilá keramická řešení používaná k ochraně termočlánků před normálním provozem v náročných vysokoteplotních prostředích. Vyberte Semicorex pro precizně zpracované ochranné trubice SIC termočlánků, které zajišťují konzistentní kvalitu, nákladově efektivní cenu a maximální účinnost chlazení.
Přečtěte si víceOdeslat dotazChladicí kanály z karbidu křemíku, vyrobené z vysoce výkonné keramiky z karbidu křemíku, jsou výkonné potrubní komponenty používané v chladicích procesech vysokoteplotních průmyslových pecí. Vyberte si Semicorex pro precizně navržené chladicí kanály z karbidu křemíku, které zajišťují stálou kvalitu, nákladově efektivní cenu a maximální účinnost chlazení.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex Carbon Ceramic Brake je vyroben z pokročilých uhlíkových keramických kompozitů, což je pokročilý materiál, který je velmi vhodný pro vysokoteplotní pracovní prostředí. Semicorex dodává přizpůsobené produkty podle aplikací a požadavků zákazníků.*
Přečtěte si víceOdeslat dotazLeptací deska z karbidu křemíku ICP je nepostradatelný držák destiček vyrobený z vysoce čisté slinuté keramiky z karbidu křemíku. Speciálně navržený společností Semicorex, slouží jako klíčový prvek pro leptací a nanášecí systémy s indukčně vázaným plazmatem (ICP) v nejmodernějším polovodičovém průmyslu.
Přečtěte si víceOdeslat dotazKelímky z nitridu hliníku od společnosti Semicorex jsou vyráběny z polovodičové keramiky AlN, což jsou vysoce výkonné reakční nádoby používané v náročných vysokoteplotních prostředích. Semicorex nabízí zakázkovou výrobu dle požadavků zákazníka, zpracovává jak velké zakázky, tak potřeby malosériových prototypů.
Přečtěte si víceOdeslat dotaz