Semicorex je váš partner pro zlepšení v oblasti zpracování polovodičů. Naše povlaky z karbidu křemíku jsou husté, odolné vůči vysokým teplotám a chemikáliím, které se často používají v celém cyklu výroby polovodičů, včetně zpracování polovodičových destiček a destiček a výroby polovodičů.
Vysoce čisté keramické komponenty SiC jsou klíčové pro procesy v polovodičích. Naše nabídka sahá od spotřebních dílů pro zařízení na zpracování plátků, jako je člun z karbidu křemíku, konzolová pádla, trubice atd. pro epitaxi nebo MOCVD.
Výhody pro polovodičové procesy
Fáze nanášení tenkého filmu, jako je epitaxe nebo MOCVD, nebo zpracování s plátkem, jako je leptání nebo iontový implantát, musí vydržet vysoké teploty a drsné chemické čištění. Semicorex dodává vysoce čistá konstrukce karbidu křemíku (SiC), která poskytuje vynikající tepelnou odolnost a trvalou chemickou odolnost, rovnoměrnou tepelnou rovnoměrnost pro konzistentní tloušťku a odolnost epi vrstvy.
Víka komor →
Víka komory používaná při růstu krystalů a zpracování oplatek musí vydržet vysoké teploty a drsné chemické čištění.
Konzolové pádlo →
Cantilever Paddle je klíčová součást používaná v procesech výroby polovodičů, zejména v difúzních nebo LPCVD pecích během procesů, jako je difúze a RTP.
Procesní trubice →
Process Tube je klíčová součást, speciálně navržená pro různé aplikace zpracování polovodičů, jako je RTP, difúze.
Oplatkové čluny →
Wafer Boat se používá při zpracování polovodičů a byl pečlivě navržen tak, aby zajistil, že jemné oplatky budou během kritických fází výroby v bezpečí.
Vstupní kroužky →
Vstupní prstenec plynu potažený SiC zařízením MOCVD Růst sloučeniny má vysokou tepelnou a korozivzdornou odolnost, která má velkou stabilitu v extrémním prostředí.
Zaostřovací kroužek →
Semicorex dodává Ostřící kroužek potažený karbidem křemíku je opravdu stabilní pro RTA, RTP nebo drsné chemické čištění.
Oplatka Chuck →
Ultra-plochá keramická vakuová destičková sklíčidla Semicorex jsou vysoce čistá SiC potažená při procesu manipulace s destičkami.
Semicorex má také keramické výrobky z oxidu hlinitého (Al2O3), nitridu křemíku (Si3N4), nitridu hliníku (AIN), oxidu zirkoničitého (ZrO2), kompozitní keramiky atd.
Polopisy nitridu silikonu semicorex jsou vysoce pevné keramické substráty navržené tak, aby poskytovaly výjimečný tepelný výkon a mechanickou spolehlivost pro pokročilé moduly výkonu. Výběr Semicorex znamená těžit z přesné výroby, přísné kontroly kvality a materiálového inženýrství, které zajišťují konzistentní výkon i v nejnáročnějších aplikacích.*
Přečtěte si víceOdeslat dotazSlad-svislá loď Semicorex SIC je vysoce výkonná nosiče destičky navržená pro použití v procesech svislých pecí, která nabízí výjimečnou stabilitu, čistotu a trvanlivost. Vyberte sicorex pro nekompromisní kvalitu, přesnost výroby a prokázanou spolehlivost v tepelném zpracování polovodiče.*
Přečtěte si víceOdeslat dotazPolopicové trubky Sic jsou vysoce výkonné keramické komponenty křemíkového karbidu určené pro polovodičové aplikace pece, které dodávají výjimečnou tepelnou, mechanickou a chemickou stabilitu v náročných procesních prostředích. Vyberte sicorex pro sic trubky s přesností, které zajišťují konzistentní kvalitu, prodlouženou životnost a maximální účinnost pece.*
Přečtěte si víceOdeslat dotazSIC SIC SIC SIC SIC SEMICOREL SMICOREL SOMBER COMBER A FORTONTAL KOMORTÁLNÍ PÁNSKÉ JEDNOTLIVÉ KARBIDE CARBIDE navržený pro bezpečné držení oplatky během horizontálního zpracování horizontální pece. Výběr Semicorex znamená těžit z přesného inženýrství, výjimečné trvanlivosti a vynikajícího tepelného výkonu pro konzistentní produkci s vysokým výnosem.*
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex Silicon Scanning Scanning Zrcadla poskytují výjimečnou přesnost, rychlost a stabilitu pro nejnáročnější optické skenovací aplikace. Vyberte simicorex pro bezkonkurenční odborné znalosti v oblasti inženýrství SIC, nabízejte přizpůsobené geometrie, prémiové povlaky a prokázanou spolehlivost ve vysoce výkonných optických systémech.*
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex SIC zrcátka jsou vysoce výkonné optické komponenty křemíku karbidu z karbidu z karbidu vytvořené pro extrémní přesnost v aplikacích, jako jsou systémy optického skenování, litografie a vesmírné dalekohledy. Vyberte simicorex pro naše pokročilé výrobní odborné znalosti, přizpůsobitelné vzory a výjimečné povrchové úpravy, které zajišťují bezkonkurenční stabilitu, odrazivost a spolehlivost v nejnáročnějších prostředích.**
Přečtěte si víceOdeslat dotaz