Semicorex je váš partner pro zlepšení v oblasti zpracování polovodičů. Naše povlaky z karbidu křemíku jsou husté, odolné vůči vysokým teplotám a chemikáliím, které se často používají v celém cyklu výroby polovodičů, včetně zpracování polovodičových destiček a destiček a výroby polovodičů.
Vysoce čisté keramické komponenty SiC jsou klíčové pro procesy v polovodičích. Naše nabídka sahá od spotřebních dílů pro zařízení na zpracování plátků, jako je člun z karbidu křemíku, konzolová pádla, trubice atd. pro epitaxi nebo MOCVD.
Výhody pro polovodičové procesy
Fáze nanášení tenkého filmu, jako je epitaxe nebo MOCVD, nebo zpracování s plátkem, jako je leptání nebo iontový implantát, musí vydržet vysoké teploty a drsné chemické čištění. Semicorex dodává vysoce čistá konstrukce karbidu křemíku (SiC), která poskytuje vynikající tepelnou odolnost a trvalou chemickou odolnost, rovnoměrnou tepelnou rovnoměrnost pro konzistentní tloušťku a odolnost epi vrstvy.
Víka komor →
Víka komory používaná při růstu krystalů a zpracování oplatek musí vydržet vysoké teploty a drsné chemické čištění.
Konzolové pádlo →
Cantilever Paddle je klíčová součást používaná v procesech výroby polovodičů, zejména v difúzních nebo LPCVD pecích během procesů, jako je difúze a RTP.
Procesní trubice →
Process Tube je klíčová součást, speciálně navržená pro různé aplikace zpracování polovodičů, jako je RTP, difúze.
Oplatkové čluny →
Wafer Boat se používá při zpracování polovodičů a byl pečlivě navržen tak, aby zajistil, že jemné oplatky budou během kritických fází výroby v bezpečí.
Vstupní kroužky →
Vstupní prstenec plynu potažený SiC zařízením MOCVD Růst sloučeniny má vysokou tepelnou a korozivzdornou odolnost, která má velkou stabilitu v extrémním prostředí.
Zaostřovací kroužek →
Semicorex dodává Ostřící kroužek potažený karbidem křemíku je opravdu stabilní pro RTA, RTP nebo drsné chemické čištění.
Oplatka Chuck →
Ultra-plochá keramická vakuová destičková sklíčidla Semicorex jsou vysoce čistá SiC potažená při procesu manipulace s destičkami.
Semicorex má také keramické výrobky z oxidu hlinitého (Al2O3), nitridu křemíku (Si3N4), nitridu hliníku (AIN), oxidu zirkoničitého (ZrO2), kompozitní keramiky atd.
Disky pro odvádění plynu potažené SiC Semicorex jsou nepostradatelnými grafitovými komponenty aplikovanými v polovodičovém epitaxním zařízení, zkonstruované speciálně pro regulaci toku reakčního plynu a podporu rovnoměrné distribuce plynu v reakční komoře. Vyberte si Semicorex, vyberte si optimální řešení odklonu plynu pro vysoce kvalitní epitaxní výsledky waferů.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex SiC Wafer Carrier je vyroben z vysoce čisté keramiky z karbidu křemíku pomocí technologie 3D tisku, což znamená, že dokáže během krátké doby získat vysoce cenné součásti obrábění. Předpokládá se, že Semicorex poskytuje našim zákazníkům po celém světě kvalifikované vysoce kvalitní produkty.*
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex CVD SiC potažené horní broušené kroužky jsou základními prstencovými součástmi navrženými speciálně pro sofistikovaná zařízení pro plazmové leptání. Jako přední dodavatel polovodičových součástek se Semicorex zaměřuje na dodávání vysoce kvalitních, trvanlivých a ultračistých horních zemnících kroužků CVD SiC s povlakem, které našim váženým zákazníkům pomohou zlepšit provozní efektivitu a celkovou kvalitu produktu.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex SiC Seals jsou vysoce výkonné mechanické čelní komponenty navržené tak, aby poskytovaly vynikající odolnost proti opotřebení, tepelnou stabilitu a univerzální chemickou inertnost v nejnáročnějších prostředích rotujících zařízení. Semicorex je profesionální poskytovatel keramických materiálů SiC, který může dodávat vysoce přesné produkty pro globální zákazníky.*
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex SiC podstavec je vysoce přesná, multifunkční hardwarová součást navržená tak, aby poskytovala tepelnou stabilitu a složitou distribuci kapaliny, kterou vyžadují pokročilé mikrokanálové reakční systémy. Semicorex se specializuje na konstrukci a dodávky těchto vysoce čistých SiC podstavců podle potřeb zákazníků.*
Přečtěte si víceOdeslat dotazLeštící destičky Semicorex alumina jsou vysoce výkonné leštící komponenty vyrobené z hliníkové keramiky, které jsou navrženy speciálně pro proces leštění destiček ve špičkovém polovodičovém průmyslu. Při výběru Semicorexu si vyberte produkty s cenově výhodnými cenami, výjimečnou odolností a vysoce efektivním zpracováním.
Přečtěte si víceOdeslat dotaz