Ohniskový kroužek nebo okrajové kroužky jsou navrženy tak, aby zlepšily rovnoměrnost leptání kolem okraje nebo obvodu plátku.
Zaostřovací kroužky Semicorex jsou potaženy karbidem křemíku pomocí chemického napařování (CVD) a poskytují vynikající tepelnou odolnost, rovnoměrnou tepelnou rovnoměrnost pro konzistentní tloušťku a odolnost epi vrstvy a trvanlivou chemickou odolnost, které jsou vyrobeny tak, aby vydržely extrémní prostředí v procesu plazmového leptání nebo suchého leptání. .