Ohniskový kroužek nebo okrajové kroužky jsou navrženy tak, aby zlepšily rovnoměrnost leptání kolem okraje nebo obvodu plátku.
Zaostřovací kroužky Semicorex jsou potaženy karbidem křemíku pomocí chemického napařování (CVD) a poskytují vynikající tepelnou odolnost, rovnoměrnou tepelnou rovnoměrnost pro konzistentní tloušťku a odolnost epi vrstvy a trvanlivou chemickou odolnost, které jsou vyrobeny tak, aby vydržely extrémní prostředí v procesu plazmového leptání nebo suchého leptání. .
Odolné zaostřovací kroužky Semicorex pro zpracování polovodičů jsou navrženy tak, aby vydržely extrémní prostředí plazmových leptacích komor používaných při zpracování polovodičů. Naše ohniskové kroužky jsou vyrobeny z vysoce čistého grafitu potaženého hustým povlakem z karbidu křemíku (SiC) odolným proti opotřebení. Povlak SiC má vysokou odolnost proti korozi a teplu, stejně jako vynikající tepelnou vodivost. SiC nanášíme v tenkých vrstvách na grafit pomocí procesu chemického napařování (CVD), abychom zlepšili životnost našich fokusačních kroužků.
Přečtěte si víceOdeslat dotazZaostřovací kroužek pro plazmové zpracování Semicorex je speciálně navržen tak, aby splňoval vysoké požadavky na zpracování plazmového leptání v polovodičovém průmyslu. Naše pokročilé, vysoce čisté komponenty potažené karbidem křemíku jsou vyrobeny tak, aby vydržely extrémní prostředí a jsou vhodné pro použití v různých aplikacích, včetně vrstev karbidu křemíku a epitaxních polovodičů.
Přečtěte si víceOdeslat dotazPokročilé, vysoce čisté kroužky SiC Focus od společnosti Semicorex jsou vyrobeny tak, aby vydržely extrémní prostředí v komorách pro plazmové leptání (nebo suché leptání). Zaměřujeme se na polovodičový průmysl, jako jsou vrstvy karbidu křemíku a epitaxní polovodiče. Naše produkty mají dobrou cenovou výhodu a pokrývají mnoho evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotaz