Ohniskový kroužek nebo okrajové kroužky jsou navrženy tak, aby zlepšily rovnoměrnost leptání kolem okraje nebo obvodu plátku.
Zaostřovací kroužky Semicorex jsou potaženy karbidem křemíku pomocí chemického napařování (CVD) a poskytují vynikající tepelnou odolnost, rovnoměrnou tepelnou rovnoměrnost pro konzistentní tloušťku a odolnost epi vrstvy a trvanlivou chemickou odolnost, které jsou vyrobeny tak, aby vydržely extrémní prostředí v procesu plazmového leptání nebo suchého leptání. .
Semicorex SiC Focus Ring je vysoce čistý kroužek z karbidu křemíku navržený tak, aby optimalizoval distribuci plazmy a jednotnost procesu waferů při výrobě polovodičů. Volba Semicorex znamená zajištění stálé kvality, pokročilého materiálového inženýrství a spolehlivého výkonu, kterému důvěřují přední výrobci polovodičů po celém světě.*
Přečtěte si víceOdeslat dotaz