Rychlé tepelné žíhání (zkráceně RTA nebo RTP) je technologie rychlého tepelného zpracování při výrobě polovodičů. Jeho základním principem je rychlé zahřátí povrchu plátku pomocí vysoce intenzivního sálavého zdroje tepla (jako jsou halogenové lampy, lasery, zábleskové lampy atd.), zahřátí plátku na ......
Přečtěte si vícePolovodičový průmysl třetí generace prochází rychlým rozšiřováním kapacity. Procesy epitaxe karbidu křemíku (SiC) a nitridu galia (GaN) se neustále vyvíjejí směrem k vysokoteplotnímu provoznímu prostředí, ultra-vysoko čistým surovinám a miniaturizovaným čipovým zařízením. Nicméně konvenční nepotažen......
Přečtěte si vícePři výrobě polovodičů oxidace zahrnuje umístění destičky do prostředí s vysokou teplotou, kde kyslík proudí přes povrch destičky a vytváří vrstvu oxidu. To chrání destičku před chemickými nečistotami, zabraňuje pronikání svodového proudu do obvodu, zabraňuje difúzi během implantace iontů a zabraňuje......
Přečtěte si víceSemicorex poskytuje pokročilé grafitové destičkové susceptory potažené TaC navržené pro náročné polovodičové procesy, které vyžadují vynikající tepelnou stabilitu, chemickou odolnost a přesnou podporu destiček. Vzhledem k tomu, že výrobci polovodičů pokračují ve vývoji zařízení nové generace, tato ......
Přečtěte si víceOhniskové kroužky jsou přesné prstencové díly, které se obvykle instalují kolem destičkového sklíčidla zařízení pro plazmové leptání a jsou přímo vystaveny vysokoenergetickému plazmatu během procesu leptání. Jejich hlavní funkcí je působit jako obětní části pro zajištění rovnoměrných výsledků leptán......
Přečtěte si víceStabilita a přesnost technologie držení destiček jako nepostradatelné jádro ve výrobě polovodičů přímo ovlivňuje efektivitu výroby čipů a kvalitu hotového zařízení. Vakuová upínače a elektrostatická upínače jsou dvě hlavní řešení pro uchycení destiček pro výrobu polovodičů. Ačkoli oba patří k destič......
Přečtěte si více