Čína Sprchová hlavice Výrobci, dodavatelé, továrna

Sprchová hlavice SiC (karbid křemíku) je specializovaná součást používaná v různých průmyslových procesech, zejména v průmyslu výroby polovodičů. Je navržen tak, aby distribuoval a přiváděl procesní plyny rovnoměrně a přesně během chemické depozice z plynné fáze (CVD) a procesů epitaxního růstu.

Sprchová hlavice má tvar disku nebo desky s několika rovnoměrně rozmístěnými otvory nebo tryskami na povrchu. Tyto otvory slouží jako výstupy pro procesní plyny, které umožňují jejich vstřikování do procesní komory nebo reakční komory. Velikost, tvar a rozložení otvorů se může lišit v závislosti na konkrétní aplikaci a požadavcích procesu.

Jednou z klíčových výhod použití SiC sprchové hlavice je její vynikající tepelná vodivost. Tato vlastnost umožňuje účinný přenos tepla a rovnoměrné rozložení teploty po povrchu sprchové hlavice, čímž se zabrání vzniku horkých míst a zajistí se konzistentní podmínky procesu. Zvýšená tepelná vodivost také umožňuje rychlé ochlazení sprchové hlavice po procesu, minimalizuje prostoje a zvyšuje celkovou produktivitu.

Sprchové hlavice SiC jsou vysoce odolné a odolné proti opotřebení, a to i při dlouhodobém vystavení korozivním plynům a vysokým teplotám. Tato dlouhá životnost se promítá do prodloužených intervalů údržby a zkrácení prostojů zařízení, což vede k úsporám nákladů a lepší spolehlivosti procesu.

Kromě své robustnosti nabízejí sprchové hlavice SiC vynikající možnosti distribuce plynu. Precizně navržené vzory a konfigurace otvorů zajišťují rovnoměrný tok plynu a distribuci po povrchu substrátu, což podporuje konzistentní nanášení filmu a lepší výkon zařízení. Rovnoměrná distribuce plynu také pomáhá minimalizovat změny v tloušťce filmu, složení a dalších kritických parametrech, což přispívá ke zlepšení řízení procesu a výtěžnosti.

Semicorex nabízí polovodičovou sprchovou hlavici ze slinutého karbidu křemíku s nízkým odporem.  Máme schopnost zakázkového inženýrství a dodávání pokročilých keramických materiálů s využitím různých jedinečných schopností.