Kroužky pro přívod plynu se používají k pokrytí okraje a obvodu plátku, chrání kritické součásti komory, aby se vytvořilo čisté, inertní a chráněné prostředí a prodlužuje se jejich životnost v nanášecích komorách, takže jsou během nanášení nebo zpracování plátků vystaveny plazmě a vysoké teplotě , takže vysoká odolnost plazmy a vysoká čistota jsou rozhodující pro konečný výtěžek plátku.
Semicorex CVD SiC potažené kroužky navržené speciálně pro tyto náročné aplikace epitaxního zařízení.