TaC potahový grafit je vytvořen potažením povrchu vysoce čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesem chemické depozice z plynné fáze (CVD).
Karbid tantalu (TaC) je sloučenina, která se skládá z tantalu a uhlíku. Má kovovou elektrickou vodivost a výjimečně vysoký bod tání, což z něj činí žáruvzdorný keramický materiál známý svou pevností, tvrdostí a odolností vůči teplu a opotřebení. Teplota tání karbidů tantalu vrcholí při asi 3880 °C v závislosti na čistotě a má jednu z nejvyšších teplot tání mezi binárními sloučeninami. To z něj činí atraktivní alternativu, když požadavky na vyšší teplotu překračují výkonnostní možnosti používané v epitaxních procesech složených polovodičů, jako jsou MOCVD a LPE.
Materiálové údaje Semicorex TaC Coating
|
Projekty |
Parametry |
|
Hustota |
14,3 (gm/cm³) |
|
Emisivita |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
Tvrdost (HK) |
2000 |
|
Odpor (Ohm-cm) |
1×10-5 |
|
Tepelná stabilita |
<2500 ℃ |
|
Změna rozměru grafitu |
-10~-20um (referenční hodnota) |
|
Tloušťka povlaku |
≥20um typická hodnota (35um±10um) |
|
|
|
|
Výše uvedené jsou typické hodnoty |
|
Pórovité kroužky z karbidu tantalu Semicorex jsou vysoce výkonné žáruvzdorné komponenty speciálně navržené pro proces fyzikálního transportu par (PVT) růstu krystalů karbidu křemíku (SiC), vyznačující se monolitickou slinutou strukturou, která nabízí výjimečnou tepelnou stabilitu a řízenou propustnost pro plyny.*
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex TaC-potažené grafitové destičkové susceptory jsou nejmodernější komponenty, které se typicky aplikují ke stabilní podpoře a umístění polovodičových destiček během pokročilých polovodičových epitaxních procesů. S využitím nejmodernějších výrobních technologií a vyzrálých výrobních zkušeností se společnost Semicorex zavázala dodávat našim váženým zákazníkům na míru vyrobené grafitové destičkové susceptory potažené TaC s nejlepší kvalitou na trhu.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex CVD TaC Coated Susceptors jsou vysoce výkonné grafitové susceptory s hustým TaC povlakem, navržené tak, aby poskytovaly vynikající tepelnou rovnoměrnost a odolnost proti korozi pro náročné procesy epitaxního růstu SiC. Semicorex kombinuje pokročilou technologii CVD povlaku s přísnou kontrolou kvality, aby poskytl susceptory s dlouhou životností a nízkou kontaminací, kterým důvěřují světoví výrobci SiC epi.*
Přečtěte si víceOdeslat dotazVodicí kroužky Semicorex potažené karbidem tantalu jsou vysoce výkonné kruhové komponenty používané v zařízeních pro růst polovodičových krystalů. Jsou speciálně navrženy tak, aby vytvořily vhodný teplotní gradient a stabilní prostředí proudění vzduchu během růstu krystalů. Výběrem vodicích kroužků s povlakem karbidu tantalu Semicorex budete mít prospěch z jedinečné technologie povlakování a vysoce efektivní a stabilní výroby.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex TaC Coated Graphite Crucible je vyroben grafitovým povlakem karbidu tantalu metodou CVD, což je nejvhodnější materiál aplikovaný v procesu výroby polovodičů. Semicorex je společnost, která se trvale specializuje na CVD keramické povlaky a nabízí nejlepší materiálová řešení v polovodičovém průmyslu.*
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex TaC Coated Components in Epitaxial Growth je drahocenný obrobený díl umístěný v přívodu vzduchu v epitaxním procesu v polovodičích. Semicorex je špičková společnost, která se specializuje na technologii CVD TaC povlaků v Číně a vyváží produkty do celého světa.*
Přečtěte si víceOdeslat dotaz