Pancake susceptor, kulatý tvar nosiče plátků používaný při zpracování polovodičů.
Epitaxe je zásadním krokem ve zpracování polovodičů, při kterém dochází k růstu epitaxní vrstvy na polovodičových destičkách, ve kterých jsou destičky neseny na grafitových susceptorech. Vlastnosti grafitových susceptorů jsou klíčovými vlivy na kvalitu epi-waferů.
Grafitové susceptory s povlakem z karbidu křemíku
Semicorex dodává susceptory a komponenty pro všechny epitaxní reaktory, včetněsudové susceptorya palačinkové susceptory. Používáme vysoce čistý grafit a CVD SiC povlak.