Koncový efektor je ruka robota, která pohybuje polovodičovými destičkami mezi pozicemi v zařízení na zpracování destiček a nosiči. Koncový efektor musí být rozměrově přesný a tepelně stabilní, přičemž musí mít hladký povrch odolný proti oděru, aby bylo možné bezpečně manipulovat s destičkami bez poškození zařízení nebo produkování kontaminace částicemi.
Komponenty povlaku z vysoce čistého karbidu křemíku (SiC) Semicorex poskytují vynikající tepelnou odolnost, rovnoměrnou tepelnou rovnoměrnost pro konzistentní tloušťku a odolnost epi vrstvy a trvalou chemickou odolnost.