Semicorex RTP nosič je potažen karbidem křemíku pomocí procesu chemického napařování (CVD), který je opravdu stabilní pro RTA, RTP nebo drsné chemické čištění. Jádrem polovodičového procesu jsou epitaxní susceptory, které jsou nejprve vystaveny depozičnímu prostředí, takže mají vysokou odolnost vůči teplu a korozi. Nosič potažený SiC má také vysokou tepelnou vodivost a vynikající vlastnosti distribuce tepla.
● Vysoce čistý grafit potažený SiC
● Vynikající tepelná odolnost a chemická odolnost
● Vysoká tepelná rovnoměrnost
● Vynikající odolnost proti opotřebení