Víka komor se používají k vytvoření čistého, inertního a chráněného prostředí v nanášecích komorách, takže jsou během procesu nanášení nebo leptání vystaveny plazmě a vysoké teplotě. Víka komor Semicorex jsou odolné keramické komponenty potažené karbidem křemíku metodou chemického napařování (CVD), které skvěle obstojí v těchto náročných prostředích.
Semicorex SIC LID je vysoce čistotá silikonová karbidová složka vytvořená pro extrémní prostředí polovodičové zpracování. Výběr Semicorex znamená zajistit bezkonkurenční kvalitu materiálu, přesné inženýrství a vlastní řešení důvěryhodných předních výrobců polovodičů po celém světě.*
Přečtěte si víceOdeslat dotaz