Víka komor se používají k vytvoření čistého, inertního a chráněného prostředí v nanášecích komorách, takže jsou během procesu nanášení nebo leptání vystaveny plazmě a vysoké teplotě. Víka komor Semicorex jsou odolné keramické komponenty potažené karbidem křemíku metodou chemického napařování (CVD), které skvěle obstojí v těchto náročných prostředích.