Vodivé potažené grafitové ohřívače

Thevodivý potažený grafitový ohřívačje nový produkt určený pro polovodičové zpracování s vysokou teplotou a další vakuové tepelné systémy. Využívá dobrou tepelnou stabilitu grafitu s vysokou čistotou a vynikající povrchové vlastnosti povlaku karbidu křemíku (SIC). Vodivé potažené grafitové ohřívač je dále diferencován svou sic vrstvou dotovanou dusíkem, která nabízí výrazně zlepšenou povrchovou vodivost, což je obzvláště vhodné pro aplikace, které je třeba kontrolovat a dokonce i zahřívání s velkým elektrickým výkonem.

Ohřívač je konstruován s vysoce pevným grafitovým substrátem, který působí jako základní strukturální a tepelný vodič. Grafit byl vybrán, konkrétně vzhledem k vysoké hladině tepelné vodivosti, nízkého koeficientu tepelné roztažnosti a odolnosti k tepelnému šoku. Díky těmto vlastnostem je grafit vhodný základní materiál v aplikacích s vysokým teplotou, kde mohou být rychlé cykly zahřívání a chlazení. Samotný nedotčený grafit je však v některých atmosférách chemicky reaktivní a může během prodlouženého používání zažít poškození nebo degradaci povrchu, emise částic nebo přenos, zejména v polovodičových čistých prostředích.

K překonání těchto omezení je grafitová část potažena silnou, vysoce čistí SIC vrstvou. Potahování SIC slouží více funkcím: poskytuje úroveň ochrany před oxidací a chemickou korozí, poskytuje velmi tvrdý povrch odolný vůči opotřebení a zajišťuje kompatibilitu s vakuovými a čistými standardy. SIC má pověst extrémní tvrdosti, vysoké tepelné vodivosti a chemické setrvačnosti; Z tohoto důvodu je to vynikající materiál povlaku pro vysoce výkonné tepelné komponenty.

Unikátní inovace tohoto produktu je doping dusíku SIC povlaku. Během procesu chemické depozice par (CVD) jsou atomy dusíku vloženy do mříže SIC a vytvářejí volné nosiče, které mohou dramaticky snížit její povrchovou odolnost, a proto vytvářejí vodivou povrchovou vrstvu a umožňují proudu přímo procházet, spíše než používat přístupový bod, a to prostřednictvím sic potahování, a tak umožnit celou grafitovou komponentu, aby působila jako odporová horka.

KlasickýSic povlakyjsou izolativní, což je skutečně omezuje v rozsahu aktivních elektrických aplikací. Naopak, vrstva SIC dopované dusíkem na ohřívači má extrémně nízkou odolnost proti povrchu a přitom si stále udržuje všechny mechanické a chemické přínosy klasického SIC. Vodivá vrstva poskytuje velmi dobrou uniformitu proudu a minimalizuje ztrátu energie a zlepšuje tepelné rozdělení na povrchu topení. Je zvláště ideální pro přesné aplikace pro vytápění za podmínek, které jsou často spojeny s epitaxiálními reaktory, difúzními pecemi a rychlým zařízením pro tepelné zpracování (RTP).

Geometrie ohřívače, obvykle spirála nebo hada, jak je znázorněno na obrázku, je navržena a optimalizována s úmyslem produkovat rovnoměrnou energii tepelného výstupu a jednotného elektrického zatížení. S integrovanou konstrukcí grafitového a vodivého povlaku SIC lze elektrické kontakty provádět přímo na potažený povrch, což eliminuje potřebu jakékoli další elektrody nebo kovové připojení. To snižuje rizika kontaminace a má za následek jednodušší sestavu. V důsledku toho se celková účinnost zlepšuje.

Klíčové výhody vodivostiSIC-potahový grafitový topenízahrnout:

Vynikající elektrická vodivost v důsledku dopingu dusíku, což umožňuje tok přímého proudu a účinné odporové vytápění.

Vynikající tepelná uniformita s přesnou kontrolou teploty na celé povrchové ploše.

Vysoká chemická odolnost, zejména v korozivních prostředích, jako je vodík, amoniak nebo atmosféry bohaté na halogen.

Minimální generování částic, splňuje přísné požadavky na čistotu polovodičového výroby.

Prodloužená životnost, kvůli mechanické trvanlivosti a odolnosti tepelného nárazu jak grafitového jádra, tak sic povlaku.

Aplikace pro tento ohřívač se rozprostírají napříč řadou pokročilých technologických odvětví. Ohřívač najde místo v polovodičových výrobních procesech, jako je depozice chemických párů (CVD), epitaxy molekulárního paprsku (MBE) a žíhání oplatky, kde je kritické přesné kontroly teploty a čistota materiálů. Grafitový ohřívač potažený SIC lze také použít při fotovoltaické produkci, slinování pokročilé keramiky a v jiných tepelných procesech, kde je vyžadováno vyšší výkon, trvanlivost a robustní ohřívače.

Stručně řečeno, vodivý grafitový topení potažený SIC je působivým pokrokem ve vývoji tepelných složek. Použitím SIC povlaku dopovaného dusíkem jsme vyvinuli účinný tepelný produkt, který úspěšně kombinuje chemickou stabilitu SIC povlaku s elektrickou vodivostí. Vytváření tepelného procesu, který je účinnější, čistší a spolehlivější pro nejnáročnější průmyslové aplikace. Odvětví polovodičů a materiálů čelí pokračujícím změnám a hybridní materiály tohoto druhu budou stále důležitější při umožnění budoucí pokročilejší technologie pro výrobu.

Semicorex nabízí vysoce kvalitnígrafitové ohřívače s povlakemprodukty. Pokud máte nějaké dotazy nebo potřebujete další podrobnosti, neváhejte se s námi spojit.

Kontaktní telefon # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com