Povrchová úprava pro špičkové elektrostatické sklíčidlo

Theelektrostatické sklíčidlov oblasti výroby polovodičů provádí řadu funkcí, jako je rovnoměrný elektrostatický výboj, vedení tepla a adsorpce a fixace plátků. Jednou ze základních funkcí ESC je stabilně adsorbovat wafery za extrémních provozních podmínek, jako je vysoké vakuum, silná plazma a široký teplotní rozsah.

To, co skutečně určuje jejich výkon, není vnější struktura nebo vzorec základního materiálu, ale proces povrchové úpravy. Bez profesionální povrchové úpravy se během provozu vyskytnou následující problémy:

1. Plazmová eroze a kontaminace kovovými ionty

Nechráněné keramické povrchy jsou citlivé na plazmovou erozi při leptání nebo procesu CVD. Tento typ eroze může přímo vést k uvolňování kovových iontů nebo odlupování keramických částic, čímž dochází ke kontaminaci plátku.

2. Nerovnoměrná tepelná vodivost a deformace deformací

Drsné povrchy nebo špatné ošetření mají za následek nerovnoměrný kontakt mezi plátkem a plátkemESCbrání vedení tepla a ovlivňuje jednotnost CD.

3. Nestabilní elektrostatická adsorpce

Nepřesná kontrola výkonu povrchové izolace nebo vodivosti elektrostatického upínače může snadno vést k nedostatečné adsorpční síle nebo nadměrné adsorpci, což v konečném důsledku přímo ovlivní výtěžnost zpracování plátků.

Povrch špičkových ESC často využívá kompozitní vícevrstvou strukturu, která přesně reguluje funkční oblasti prostřednictvím povlaků, aby bylo dosaženo skutečně vysoce výkonné integrace.

1. Fluoropolymerové neadhezivní povlaky (jako PTFE a PFA)

1. Fluoropolymerové neadhezivní povlaky (jako PTFE a PFA)

Tento druh povlaku je zvláště vhodný pro nízkoteplotní procesní prostředí, protože má nízkou povrchovou volnou energii, která účinně zabraňuje adsorpci zbytků fotorezistu.

2. Povlaky Diamond-like Carbon (DLC).

Díky vysoké tvrdosti, odolnosti vůči plazmatu a nízkému koeficientu tření jsou vhodné pro aplikace proti erozi a odlučování částic v leptacích zařízeních.

3. PVD vodivé keramické filmy (jako CrSiN a TiN)

Tento typ povlaku může vytvořit stabilní vodivou cestu ve specifické oblasti, a tím se účinně vyhnout problému místního hromadění náboje přesným řízením rovnoměrného vybíjení povrchových nábojů.

4. Kompozitní tepelně vodivé povlaky (jako je diamantový prášek a hybridní povlak z fluoropolymeru)

Tento typ povlaku může vytvořit stabilní vodivou cestu ve specifické oblasti, a tím se účinně vyhnout problému místního hromadění náboje přesným řízením rovnoměrného vybíjení povrchových nábojů.