Jaký je zářez na waferech?

Zářez plátku je drážka ve tvaru V nebo U na okraji apolovodičový plátek. Daleko od vady vzniklé během výrobního procesu jde o kritický strukturální marker, který byl záměrně navržen, jehož hlavní funkce spočívá v umožnění přesné polohování a orientace waferu. Plochý oplatek byl používán jako orientační značení v raných fázích vývoje technologie oplatek. Jak se však velikosti plátků postupně zvětšovaly, design s plochým okrajem zabíral efektivnější plochu, a tak byl postupně nahrazen kompaktnějším zářezem.

Jaká je funkce zářezu oplatky? 

Výroba čipu je proces v nanometrovém měřítku, ve kterém jakákoli směrová odchylka může vést k selhání obvodu. Slouží jako orientační značení, zářez plátku umožňuje litografii a leptacím strojům rychle identifikovat orientaci krystalu plátku a zajistit přesné zarovnání každého procesního kroku. Každý čip je umístěn na destičce podle zářezu, podobně jako na nultém poledníku. Tento důmyslný design umožňuje litografovat a vytyčovat vzory obvodů se zářezem jako referenčním podkladem. Robotická ramena navíc spoléhají na zářez waferu, který rozlišuje přední/zadní stranu waferu a orientaci ve vysoce automatizované výrobní lince, což významně zabraňuje poškození waferu nebo procesním chybám způsobeným nesprávnou obsluhou. Pokud dojde ke kontaminaci nebo poškození zářezu, může být celý plátek odmítnut jako nevyhovující.

Zářez plátku také hraje klíčovou roli při zlepšování výtěžnosti výroby čipů. Vzhledem k tomu, že okraje plátků jsou náchylné k defektům, jako jsou skluzové čáry a praskliny během výroby, přesné polohování pomocí zářezů umožňuje zařízení přesně se vyhnout těmto vadným oblastem, čímž se snižuje plýtvání. Moderní výrobní linky také využívají technologie, jako je rotace vzduchového odpružení pro operace hledání hran. Slouží jako značka pro bezkontaktní detekci, destičkový zářez nejen zabraňuje kontaminaci způsobené mechanickým kontaktem, ale také zlepšuje účinnost a přesnost identifikace.

Semicorex poskytujevysoce kvalitní oplatky. Pokud máte nějaké dotazy nebo potřebujete další podrobnosti, neváhejte nás kontaktovat.

Kontaktní telefon +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com