Jaká je funkce zaostřovacích kroužků?

Ohniskové kroužky jsou základními součástmi pro zajištění jednotnosti a stability procesů leptání polovodičů. Přesným ovládáním elektrických a tepelných polí mohou zaostřovací kroužky koncentrovat plazmu na povrchu destičky a zajistit konzistentní výsledky leptání ve všech místech destičky.

Funkce zaostřovacích kroužků

1. Zlepšete jednotnost leptání

V procesu leptání mohou zaostřovací kroužky koncentrovat plazmu naoplatkapovrch, který účinně zaručuje stejnoměrnou hustotu plazmatu, úhel ostřelování ionty a energetické úrovně v okrajové i středové oblasti plátku. Korigují distribuci elektrického pole na okraji destičky, snižují rychlost leptání, kritické rozměry a morfologické variace způsobené efekty hrany, čímž zajišťují konzistenci leptání po celém povrchu destičky. Je-li zaostřovací kroužek nadměrně opotřebovaný nebo chybí-li ohniskový kroužek, plazma bude difundovat z okraje plátku, což nakonec způsobí nekonformní odchylky v šířce čáry mezi okrajovými a středovými oblastmi.

2. Chraňte elektrostatické sklíčidlo

Ohniskové kroužky jsou obvykle instalovány mimo povrch nosiče destiček elektrostatických upínačů, přímo vystavené plazmovému bombardování a korozi. Toto nastavení na splátky slouží jako fyzická bariéra, která zabraňuje kontaktu plazmatu s elektrostatickými upínači během procesu leptání, čímž se významně snižuje riziko poškození plazmatu. Ohniskové kroužky také mohou zabránit vedlejším produktům generovaným během procesu leptání v přilnutí k elektrostatickým sklíčidlům, čímž se zabrání snížení výkonu způsobenému kontaminací a ucpáním sklíčidla. To výrazně prodlužuje cyklus údržby a životnost elektrostatických sklíčidel, snižuje náklady na údržbu a výměnu zařízení.

Ohniskové kroužky jsou běžně vyráběny z vysoce čistého materiálukřemen, křemíkakarbid křemíkumateriálů. Díky svému vynikajícímu komplexnímu výkonu se materiály z karbidu křemíku postupně stávají hlavní možností pro špičkové procesy leptání. Jako důvěryhodný dodavatel polovodičových kroužků v Číně nabízí Semicorex vysokou kvalituzaostřovací kroužky z karbidu křemíkurůzných velikostí, aby odpovídaly různým požadavkům leptacího zařízení. Semicorex uvítá vaše dotazy a nákupy kdykoli.