Vakuové sklíčidlo z porézního hliníku

Vakuové sklíčidlo je připojeno k vakuovému zařízení pomocí spojovací trubky. Když se vakuové sklíčidlo dostane do kontaktu s obrobkem, jako je plátek/tenký filmový materiál, vakuové zařízení začne pracovat a vytvoří podtlak uvnitř vakuového sklíčidla. Pod atmosférickým tlakem obrobek pevně přilne k vakuovému sklíčidlu, což umožňuje zpracování. Po dokončení zpracování vakuové zařízení přestane pracovat a pomalu naplní vakuové sklíčidlo plynem, čímž se obrobek automaticky oddělí od sklíčidla. Tím je upínání, zpracování a manipulace s obrobkem dokončeno.

Hlavním cílem polovodičové fotolitografie je „vytisknout“ miliardy vzorů tranzistorových obvodů na destičku s přesností na úrovni nanometrů. Podstatou "fotolitografie" je použití světelného zdroje k ozáření vysoce fotocitlivého fotorezistu, což způsobí chemickou reakci, která naleptá obvod. Když však zdroj světla ozařuje destičku, nevyhnutelně svítí i na elektrostatické sklíčidlo, které slouží jako nosič destičky. Výsledné odražené sekundární světlo může interferovat s procesem fotolitografie, způsobit expozici v nechtěných oblastech a poškodit obvody. Proto černý povrch vakuového sklíčidla minimalizuje odrazy a zajišťuje přesné požadavky fotolitografického systému. Na základě této schopnosti může být černý oxid hlinitý široce používán nejen v elektrostatických upínačích, ale také ve scénářích „potlačujících světlo“. Nástup éry umělé inteligence umožnil významný rozvoj v optických komunikačních aplikacích a substráty z černého oxidu hlinitého jsou často k vidění v balení optoelektronických zařízení a prvků vyzařujících světlo.

Černá keramika z oxidu hlinitéhoje vyroben primárně z Al2O3, s oxidy přechodných kovů jako barvivy a přísadami pro slinování, spékaných při specifické teplotě. Barvivo je rozhodující složkou tohoto typu keramiky, která určuje jeho konečnou barvu. Při výběru barviv pro vakuové upínače je nezbytné zajistit stupeň barvy, mechanickou pevnost, poréznost a velikost pórů vakuového sklíčidla.

V současnosti běžně používané oxidy přechodných kovů jako barviva doma i v zahraničí zahrnují Fe2O3, CoO, NiO, Cr2O3 a Mn02, přičemž Fe203, CoO, NiO a Mn02 jsou nejrozšířenější. Protože oxid hlinitý je při vysokých teplotách méně těkavý, zatímco oxidy přechodných kovů jsou opakem, jejich těkavost se zvyšuje s teplotou. Tyto oxidy tvoří při vysokoteplotním slinování sloučeniny spinelového typu, což snižuje jejich těkavost. Proto, aby se potlačilo těkání oxidů přechodných kovů, měly by být zvoleny vhodné podmínky procesu, aby se umožnily jejich spojení do sloučenin spinelového typu při nižších teplotách.

Semicorex nabízí cloporézní keramické vakuové sklíčidlo. Pokud máte nějaké dotazy nebo potřebujete další podrobnosti, neváhejte nás kontaktovat.

Kontaktní telefon +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com