Konstrukční rozdíly mezi různými typy reaktorů

Na základě konfigurace reakční komory se zařízení pro tepelné zpracování (zařízení trubek pece) dělí hlavně do tří kategorií: vertikální pecní trubky, horizontální pecní trubky a pece pro rychlé tepelné zpracování (RTP).

Vertikální pecní trubky mají svisle uspořádané křemenné trubky, přičemž plátky jsou umístěny kolem trubek pro ohřev. Jejich hlavními výhodami jsou rovnoměrné rozložení teploty, přesná regulace atmosféry, vysoká automatizace, menší znečištění částicemi, malá půdorysná plocha a podpora pro dávkové zpracování (zvláště vhodné pro 12palcové wafery), díky čemuž se staly běžně dostupným zařízením. Velikost globálního trhu dosáhla v roce 2024 3,2 miliardy USD (údaje SEMI). Mezi jejich nevýhody patří snadná separace plynu a kapaliny a proudění média směrem dolů, které může způsobit vyhoření trubky pece.

Horizontální pecní trubky mají vodorovně umístěné křemenné trubky, zpracovávající 100-200 plátků najednou. Mezi jejich výhody patří rovnoměrné proudění plynu a kapaliny v trubce pece a přesnější regulace teploty. Mezi jejich nevýhody patří větší půdorys a vyšší spotřeba vysokolegovaných ocelových mezilehlých podpěr trubek. Strukturálně horizontální trubky pece umísťují plátky vertikálně do horizontálních trubek pro zpracování.

Pece pro rychlé tepelné žíhání (RTP) používají halogenové infračervené lampy k rychlému ohřevu jednotlivých plátků, které nabízejí rychlé zahřívání a chlazení, které mění pouze teplotu plátku, aniž by se měnila teplota v komoře. Jsou vhodné pro malosériové rychlé žíhání, ale ne pro sériovou výrobu.

Při zpracování plátků horizontální trubky pece umístí plátek na křemenný člun, který zase spočívá na nosném rámu z karbidu křemíku (SiC). Nosný rám je poté zasunut do trubky křemenné pece, kde plátek podstoupí reakci v zóně konstantní teploty. Naproti tomu vertikální trubky pece umístí plátek na křemennou věž a pomalu jej zvednou do trubky křemenné pece ke zpracování. Po reakci se plátek pomalu spustí, aby se zabránilo ohnutí nebo zlomení.

Semicorex dodává vysoce kvalitní na mírukřemenný pecní reaktor. Naše produkty jsou navrženy tak, aby poskytovaly vynikající tepelnou stabilitu, prodlouženou životnost a výjimečnou konzistenci procesu. Pro přizpůsobená řešení nebo další technické informace neváhejte kontaktovat náš technický tým.

Telefon: +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com