Co jsou konzolová pádla?

Během zpracování polovodičových plátků se k ohřevu plátků používají specializované pece. Tyto pece obsahují podlouhlé válcové trubky, kde jsou plátky umístěny na plátkových člunech v předem určených a ekvidistantních polohách. Aby se zajistilo, že zpracovatelské zařízení neplýtvá plátky a vydrží podmínky zpracování v komoře, jsou čluny na plátky a další zařízení používaná při zpracování plátků vyrobeny z materiálů, jako je karbid křemíku (SiC).

Oplatkové čluny, naložené dávkou oplatek ke zpracování, jsou umístěny na dlouhých konzolových pádlech. Tyto lopatky lze vkládat a vytahovat z trubkových pecí a reaktorů. Pádla se skládají ze zploštělé nosné části, která pojme jeden nebo více člunů, a dlouhé rukojeti umístěné na jednom konci zploštělé nosné části pro snadnou manipulaci.

Pro nejlepší součástky při zpracování polovodičů se doporučuje použít konzolovou lopatku vyrobenou z rekrystalizovaného karbidu křemíku s tenkou vrstvou CVD SiC. Tento materiál má vysokou čistotu a je nejlepší volbou pro takové komponenty.

Semicorex vyrábí přizpůsobená konzolová pádla s vysoce kvalitním CVD SiC povlakem. Pokud máte nějaké dotazy nebo potřebujete další podrobnosti, neváhejte nás kontaktovat.

Kontaktní telefon +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com