Význam porézních grafitových materiálů pro růst krystalů SiC

Komponenta pece pro růst krystalů SiC společnosti Semicorexporézní grafitový sud, přinese tři hlavní výhody a může účinně posílit konkurenceschopnost domácíchSiC substráty:

• Snížit náklady na komponenty pro růst krystalů SiC;
• Zvyšte tloušťku krystalu SiC a snižte celkovou cenu substrátu;
• Zlepšit výtěžnost krystalů SiC a zvýšit konkurenceschopnost společnosti.

Přidání porézních grafitových desek do pecí pro růst krystalů SiC je jedním z horkých míst v průmyslu. Bylo prokázáno, že vložením aporézní grafitvrstvy nad zdrojovým práškem SiC, je dosaženo dobrého přenosu hmoty v oblasti krystalů, což může zlepšit různé technické problémy existující v tradičních pecích pro růst krystalů.

(a) Tradiční pec pro růst krystalů, (b) Pec pro růst krystalů s porézní grafitovou vrstvou

Zdroj: Univerzita Dongui, Jižní Korea

Experimenty ukázaly, že při použití tradičních pecí pro růst krystalů mají substráty SiC obvykle různépolymorfyjako je 6H a 15R-SiC, zatímcoSiC substrátypřipravené pomocí pecí pro růst krystalů na bázi porézního grafitu mají pouze4H-SiC monokrystal. Kromě toho je také výrazně snížena hustota mikrotrubiček (MPD) a hustota leptaných jamek (EPD). MPD dvou pecí pro růst krystalů je 6-7EA/cm2 a 1-2EA/cm2, což může býtsnížena až 6krát.

Semicorex také spustil nový proces „jednorázového hromadného převodu“ založený naporézní grafitové desky. Porézní grafit má velmi dobréčistící schopnost. Nový proces využívá nové tepelné pole pro primární přenos hmoty, díky čemuž je účinnost přenosu hmoty zlepšená a v zásadě konstantní, čímž se snižuje vliv rekrystalizace (vyhýbá se sekundárnímu přenosu hmoty), čímž se účinně snižuje riziko mikrotubulů nebo jiných souvisejících defektů krystalů. Kromě toho je porézní grafit také jednou ze základních technologií pro řešení problému růstu a tloušťky krystalů SiC, protože dokáže vyvážit složky plynné fáze, izolovat stopové nečistoty, upravit místní teplotu a snížit fyzické částice, jako je obal uhlíku. Za předpokladu, že krystal lze použít,tloušťka krystalulze snížit. se může výrazně zvýšit.

Technické vlastnostiSemicorex porézní grafit:

Pórovitost může dosáhnout až 65 %;

Póry jsou rovnoměrně rozmístěny;

Vysoká stabilita šarže;

Vysoká pevnost, může dosáhnout ≤1 mm ultratenkého válcového tvaru.

Semicorex nabízí vysokou kvalituporézní grafitdíly. Pokud máte nějaké dotazy nebo potřebujete další podrobnosti, neváhejte nás kontaktovat.

Kontaktní telefon +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com