Proč zvolit grafitové susceptory potažené SiC?

Grafitový susceptorje jednou ze základních částí zařízení MOCVD, je nosičem a ohřívačem waferového substrátu. Jeho vlastnosti tepelné stability a tepelné stejnoměrnosti hrají rozhodující roli v kvalitě epitaxního růstu plátků, které přímo určují stejnoměrnost a čistotu materiálů vrstev, v důsledku čehož jeho kvalita přímo ovlivňuje přípravu epitaxe. Mezitím s nárůstem počtu použití a změnami pracovních podmínek se velmi snadno ztrácí a patří ke spotřebnímu materiálu. Vynikající tepelná vodivost a stabilita grafitu z něj činí dobrou výhoduzákladní součást pro zařízení MOCVD. Pokud se však použije pouze čistý grafit, bude čelit určitým problémům. Ve výrobním procesu bude korozní plyn a organické zbytky kovu a grafitový základ bude korodovat a vypadávat prášek, což výrazně snižuje životnostgrafitový susceptor, a padlý grafitový prášek také způsobí znečištění čipu, takže v procesu přípravy základny také Tyto problémy je třeba vyřešit během přípravy základu. Technologie povlakování může zajistit povrchovou fixaci prášku, zvýšit tepelnou vodivost a vyrovnat rozložení tepla, což se stává hlavní technologií pro řešení tohoto problému. Hlavní technologií je tento problém vyřešit. Podle prostředí aplikace a požadavkůgrafitové susceptory, povrchový nátěr by měl mít následující vlastnosti.

Vysoké hustoty a plné zabalení: grafitový základ jako celek je ve vysoce teplotním, korozivním pracovním prostředí, povrch musí být zcela zabalen, zatímco povlak musí mít dobrou hustotu, aby hrál dobrou ochrannou roli.

Dobrá rovinnost povrchu: Vzhledem k tomu, že grafitový základ používaný pro růst monokrystalů vyžaduje velmi vysokou rovinnost povrchu, musí být původní rovinnost základu zachována i po přípravě povlaku, tj. povrch povlaku musí být jednotný.

Dobrá pevnost spojení: Snížení rozdílu koeficientu tepelné roztažnosti mezi grafitovým základem a nátěrovým materiálem může účinně zlepšit pevnost spojení mezi nimi a povlak není snadné popraskat po vysokých a nízkých teplotních cyklech.

Vysoká tepelná vodivost: Vysoce kvalitní růst třísek vyžaduje rychlé a rovnoměrné teplo z grafitové základny, takže nátěrový materiál by měl mít vysokou tepelnou vodivost.

Vysoký bod tání, vysokoteplotní oxidace a odolnost proti korozi: Povlak by měl být schopen pracovat stabilně ve vysokoteplotním a korozivním pracovním prostředí.