Znalost konzolového pádla

Během zpracování se polovodičové destičky musí obvykle ohřívat ve specializované peci. Takové pece se typicky skládají z dlouhých, tenkých, válcových trubek. Plátky jsou umístěny v peci a reaktoru tak, že jsou uspořádány podél roviny definované kruhovým průřezem pece nebo reaktoru a jsou od sebe vzdáleny v předem určených, obvykle stejně vzdálených, bodech podél středové osy pece nebo reaktoru. pec nebo reaktor. Pro dosažení tohoto umístění jsou destičky obvykle umístěny na štěrbinové držáky, nazývané destičkové čluny, které umísťují destičky v rozmístěné konfiguraci zarovnané podél centrální osy.

Malé čluny obsahující šarže waferů, které mají být zpracovány, jsou umístěny na dlouhých konzolových lopatkách, kterými lze vkládat a vytahovat trubkové pece a reaktory. Taková pádla typicky obsahují plochou nosnou část, na kterou lze umístit jeden nebo více malých člunů, a dlouhou rukojeť, umístěnou na jednom konci ploché nosné sekce, pomocí které lze s pádly manipulovat. Mezi rukojetí a nosnou částí je obvykle vytvořena přechodová část, aby byly vytvořeny jako celek. Rukojeť musí také vyčnívat z pece nebo reaktoru, aby bylo možné s ní i s oplatkovým člunem manipulovat.

Umístění oplatkové lodi uvnitř pece nebo reaktoru je důležité, protože je žádoucí umístit střed každé oplatky co nejblíže ke středové ose pece nebo reaktoru, aby se dosáhlo jednotných podmínek zpracování, kterým jsou oplatky vystaveny. Proto musí být při konstrukci lopatky uvažováno ohnutí lopatky způsobené hmotností lodi nesoucí plátky, zejména proto, že lopatka je podepřena pouze na jednom konci, tj. na konci, který vyčnívá z komory pece. Kromě zvážení konstrukce pádla vyplývajícího z požadavků na provozní hmotnost musí být také použita sada svorek navržených tak, aby přesně držely prodloužený konec pádla v poloze. Tyto svorky musí být poměrně robustní, aby udržely pádlo v přesně požadované poloze a zároveň se snadno používaly a minimalizovaly možnost poškození pádla během upínání.

Proto bylo zapotřebí konzolové pádlo, které by bylo možné použít s větší zátěží a přitom zůstalo kompatibilní se stávajícími upínacími systémy. Bylo také potřeba konzolové pádlo, které by vykazovalo přijatelné průhybové charakteristiky v celém rozsahu hmotnostního zatížení, se kterým by mohla být použita.

cantipákové pádlo se doporučuje používat rekrystalizovaný karbid křemíku s tenkou vrstvou CVD SiC, který je vysoce čistý a je nejlepší volbou pro součástky při zpracování polovodičů.

Semicorex může poskytnoutvysoká kvalitakonzolová pádlaapřizpůsobené služby podle výkresů a pracovního prostředí.