Lodička z karbidu křemíku

Při výrobě polovodičů oxidace zahrnuje umístění destičky do prostředí s vysokou teplotou, kde kyslík proudí přes povrch destičky a vytváří vrstvu oxidu. To chrání destičku před chemickými nečistotami, zabraňuje pronikání svodového proudu do obvodu, zabraňuje difúzi během implantace iontů a zabraňuje sklouznutí destičky během leptání, čímž se na povrchu destičky vytvoří ochranný film. Zařízení použité v tomto kroku je oxidační pec. Hlavní součásti v reakční komoře zahrnují oplatkový člun, základnu, vložkové trubky pece, vnitřní trubky pece a tepelně izolační přepážky. Vzhledem k vysoké provozní teplotě jsou také vysoké požadavky na výkon komponent v reakční komoře.

Theoplatkový člunse používá jako nosič pro dopravu a zpracování oplatek. Měl by mít výhody, jako je vysoká integrace, vysoká spolehlivost, antistatické vlastnosti, vysoká teplotní odolnost, odolnost proti opotřebení, odolnost proti deformaci, dobrá stabilita a dlouhá životnost. Protože teplota oxidace plátků je přibližně mezi 800 ℃ a 1300 ℃ a požadavky na obsah kovových nečistot v životním prostředí jsou extrémně přísné, klíčové komponenty, jako je oplatkový člun, musí mít nejen vynikající tepelné, mechanické a chemické vlastnosti, ale také extrémně nízký obsah kovových nečistot. Na základě substrátu je lze rozdělit na čluny z křemenných plátků, keramické plátkové čluny z karbidu křemíku atd. Avšak s pokrokem procesních uzlů pod 7nm a rozšířením vysokoteplotních procesních oken se tradiční křemenné čluny postupně stávají nedostačujícími z hlediska tepelné stability, kontroly částic a řízení životnosti. Lodě z karbidu křemíku (SiC) postupně nahrazují tradiční křemenná řešení.

1. Výroba polovodičů

Ve vysokoteplotních procesech výroby čipů, jako je oxidace, difúze, chemická depozice z par (CVD) a iontová implantace, se SiC čluny používají k podpoře křemíkových plátků, které zajišťují, že pláty zůstanou ploché při vysokých teplotách a zabraňují vychýlení mřížky nebo deformaci způsobené tepelným namáháním, čímž je zaručena přesnost a výkon čipu.

2. Fotovoltaický průmysl

Keramika z karbidu křemíku má vynikající mechanickou pevnost, tepelnou stabilitu, odolnost proti vysokým teplotám, odolnost proti oxidaci, odolnost proti tepelným šokům a odolnost proti chemické korozi a je široce používána v populárních oborech, jako je metalurgie, strojírenství, nová energetika a chemikálie pro stavební materiály. Jeho výkon je dostačující také pro tepelné procesy ve fotovoltaické výrobě, jako je difúze, LPCVD (nízkotlaká chemická depozice) a PECVD (plazmová chemická depozice z par) pro články TOPcon. Ve srovnání s tradičními křemennými materiály nabízejí keramické materiály z karbidu křemíku používané k výrobě lodních podpěr, malých lodí a trubkových výrobků vyšší pevnost, lepší tepelnou stabilitu a nedochází k deformaci při vysokých teplotách. Jejich životnost je také více než pětkrát delší než u křemene, což výrazně snižuje provozní náklady a energetické ztráty způsobené prostoji při údržbě. Výsledkem je jasná výhoda nákladů a suroviny jsou široce dostupné.

3. Polovodičový průmysl třetí generace

V reakčních komorách kov-organická chemická depozice z plynné fáze (MOCVD) se čluny z karbidu křemíku používají k podpoře safírových substrátů, které odolávají prostředí korozních plynů, jako je amoniak (NH3), podporují epitaxní růst polovodičových materiálů třetí generace, jako je nitrid galia (GaN), a zlepšují účinnost svítivosti LED čipů. Při růstu monokrystalů karbidu křemíku slouží čluny karbidu křemíku jako nosiče očkovacích krystalů v pecích pro růst monokrystalů karbidu křemíku, které odolávají vysokoteplotnímu korozivnímu prostředí roztaveného křemíku, poskytují stabilní podporu pro růst monokrystalů karbidu křemíku a podporují přípravu vysoce kvalitních monokrystalů karbidu křemíku.

Semicorex dodává vysoce kvalitní SiC keramikuoplatkové čluny. Naše produkty jsou navrženy tak, aby poskytovaly vynikající tepelnou stabilitu, prodlouženou životnost a výjimečnou konzistenci procesu. Pro přizpůsobená řešení nebo další technické informace neváhejte kontaktovat náš technický tým.

Telefon: +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com