15" Quartz Bell Jar

Semicorex 15" Quartz Bell Jar je zkonstruován tak, aby vyhovoval těmto výzvám a poskytuje vysoce výkonné řešení pro dávkové zpracování středního až velkého rozsahu, kde je pro maximalizaci výtěžku zásadní tepelná stejnoměrnost a čistota materiálu. V průmyslu polovodičů a tenkovrstvých filmů je integrita procesní komory prvořadá. Jak se zvětšují velikosti plátků a zmenšují se uzly, je požadavek na chemicky nečisté, odolné a odolné prostředí.

1. Nauka o materiálu: Čistota taveného oxidu křemičitého

Základem naší zvonové nádoby je vysoká čistotatavený oxid křemičitý (křemen). Na rozdíl od standardního skla se křemen skládá téměř výhradně z SiO2, což poskytuje jedinečné vlastnosti, které jsou životně důležité pro výrobu polovodičů:

Ultra nízká kontaminace: Náš křemen je zpracován tak, aby se minimalizovaly kovové stopové prvky (jako Al, Fe, Na a K) na úroveň dílů na miliardu (ppb). To zabraňuje difúzi nečistot do waferu během vysokoteplotních cyklů a zajišťuje elektrickou integritu zařízení.

Vynikající odolnost proti tepelnému šoku: Quartz má téměř nulový koeficient tepelné roztažnosti (CTE). To umožňuje 15" Quartz Bell Jar odolat rychlému nárůstu teploty a kalení bez rizika prasknutí nebo strukturální únavy – kritický požadavek pro vysokovýkonné reaktory.

Vynikající chemická inertnost: Křemen je vysoce odolný vůči většině kyselin (s výjimkou kyseliny fluorovodíkové) a korozním procesním plynům, což zajišťuje, že komora nedegraduje nebo neuplyne během agresivních cyklů leptání nebo nanášení.

2. Přesné strojírenství a optická čistota

15" Quartz Bell Jar poskytuje maximální objem a optimální dynamiku proudění plynu pro účely dávkového zpracování waferů. Sklenice má vertikální komín (také známý jako hrdlo), který je optimálně navržen tak, aby poskytoval vstup pro plyn nebo pomáhal při extrakci plynu vakuem z nádoby, což je znázorněno na obrázku výše.

Optická průhlednost – vysoká úroveň přenosukřemenný materiálvyzařování vlnových délek v ultrafialové, viditelné a infračervené oblasti spektra umožňuje zpracování v reálném čase a také použití externích ohřívačů lamp pro rychlé tepelné zpracování (RTP).

Vyztužené těsnící plochy – Hrdlo nádoby má speciálně vyvinuté neprůhledné bílé těsnění (také označované jako zabroušený spoj), které poskytuje hermetické (vzduchově utěsněné) a vakuově těsné rozhraní mezi základní deskou reaktoru a nádobou.

Žíhání pro úlevu od stresu – Všechny 15" křemenné zvonové nádoby procházejí přísným procesem tepelného žíhání, aby se zmírnilo vnitřní mechanické pnutí, které bylo na nádobu vystaveno mechanickým procesem foukání nebo tvarování nádoby, čímž se výrazně snižuje pravděpodobnost, že nádoba samovolně selže, když je umístěna pod vakuum.

3. Kritické aplikace v Semiconductor Fab

Naše 15" Quartz Bell Jar je speciálně navržena pro integraci do následujících vysoce hodnotných procesů:

Silicon Epitaxy: Poskytování průhledné, nereaktivní nádoby pro pěstování vysoce kvalitních monokrystalických křemíkových vrstev.

Plasma Enhanced CVD (PECVD): Odolává prostředí korozivního plazmatu při zachování vysoké dielektrické pevnosti.

Difúze a oxidace: Slouží jako čistá, vysoce tepelná komora pro tvorbu oxidů hradla a vjezdu dopantů.

Výroba předlisku z optických vláken: Ideální pro vysoce čisté nanášení vrstev oxidu křemičitého při výrobě speciálního skla.

V Semicorexu zacházíme s každou zvonovou nádobou jako s přesným laboratorním vybavením. Náš proces zahrnuje: Přísné získávání materiálů s ověřenou elektronickou kvalitoukřemeningoty; pokročilá výroba, která spojuje tradiční dovednosti foukání skla s CNC řízeným broušením a leštěním; a důkladná kontrola pomocí polarizovaného světla pro detekci zbytkového napětí a laserová interferometrie pro přesné rozměrové kontroly.