Vakuové sklíčidlo Al2O3

Aplikace ve výrobě polovodičů

SemicorexAl2O3 Vacuum Chuck je všestranný nástroj používaný ve více fázích výroby polovodičů:

Ředění: Během procesu ředění plátků poskytuje vakuové sklíčidlo Al2O3 stabilní a rovnoměrnou podporu a zajišťuje vysoce přesné zmenšení substrátu. To je zásadní pro zlepšení odvodu tepla čipu a zvýšení výkonu zařízení.

Krájení: Ve fázi krájení na kostičky, kdy jsou plátky nařezány na jednotlivé třísky, nabízí vakuové sklíčidlo Al2O3 bezpečnou a stabilní adsorpci, minimalizuje riziko poškození a zajišťuje čisté řezy.

Čištění: Hladký a stejnoměrný adsorpční povrch vakuového sklíčidla Al2O3 ho předurčuje pro procesy čištění plátků a zajišťuje, že nečistoty jsou účinně odstraněny bez poškození plátků.

Přeprava: Během manipulace a přepravy plátků poskytuje vakuové sklíčidlo Al2O3 spolehlivou a bezpečnou podporu a snižuje riziko poškození a kontaminace.

SemicorexVakuumChuck Flow

Výhody vakuového sklíčidla Semicorex Al2O3

1. Jednotná mikroporézní keramická technologie

Vakuové sklíčidlo Al2O3 je konstruováno pomocí technologie mikroporézní keramiky, která zahrnuje použití nanoprášků stejné velikosti. Tato technologie zajišťuje, že póry jsou rovnoměrně rozmístěny a propojeny, což má za následek vysokou poréznost a jednotně hustou strukturu. Tato jednotnost zvyšuje výkon vakuového sklíčidla a poskytuje konzistentní a spolehlivou podporu destiček.

2. Výjimečné vlastnosti materiálu

Ultra čistý 99,99% oxid hlinitý (Al2O3) použitý ve vakuovém sklíčidle Al2O3 nabízí řadu výjimečných vlastností:

Tepelné vlastnosti: Díky vysoké tepelné odolnosti a vynikající tepelné vodivosti může vakuové sklíčidlo Al2O3 odolat vysokým teplotám běžně se vyskytujícím při výrobě polovodičů.

Mechanické vlastnosti: Vysoká pevnost a tvrdost oxidu hlinitého zajišťuje, že vakuové sklíčidlo Al2O3 je trvanlivé a odolné proti opotřebení a poskytuje dlouhotrvající výkon.

Další vlastnosti: Alumina také nabízí vysokou elektrickou izolaci a odolnost proti korozi, díky čemuž je vakuové sklíčidlo Al2O3 vhodné pro širokou škálu výrobních prostředí.

3. Vynikající rovinnost a rovnoběžnost

Jednou z klíčových výhod vakuového sklíčidla Al2O3 je jeho vysoká rovinnost a rovnoběžnost. Tyto vlastnosti jsou klíčové pro zajištění přesné a stabilní manipulace s plátkem, minimalizaci rizika poškození a zajištění konzistentních výsledků zpracování. Dobrá propustnost vzduchu a rovnoměrná adsorpční síla vakuového sklíčidla Al2O3 navíc zajišťují hladký a spolehlivý provoz.

4. Možnosti přizpůsobení

Ve společnosti Semicorex chápeme, že každý proces výroby polovodičů má jedinečné požadavky. Proto nabízíme přizpůsobená vakuová sklíčidla přizpůsobená vašim specifickým potřebám. V závislosti na požadované rovinnosti a výrobních nákladech doporučujeme různé základní materiály, které zajistí, že hmotnost a výkon vakuového sklíčidla jsou optimalizovány pro vaši aplikaci. Tyto materiály zahrnují nerezovou ocel SUS430, hliníkovou slitinu 6061, hutnou keramiku Alumina (barva slonoviny), žulu a hutnou keramiku z karbidu křemíku.

Al2O3 Vacuum Chuck CMM Měření