Robotická ramena Alumina Bernoulli

Robotická ramena se používají hlavně v předních procesech výroby polovodičů, jako je fotolitografie a leptání, kde se přímo podílejí na manipulaci, přenosu a umístění polovodičových destiček. Semicorexoxid hlinitýRobotická ramena Bernoulli jsou keramické koncové efektory, které dosahují adsorpce a přenosu plátků na Bernoulliho principu a poskytují výjimečný výkon v oblasti čistoty, stability, přesnosti, účinnosti a spolehlivosti.

Bezkontaktní adsorpce

Robotická ramena Semicorex alumina Bernoulli mohou dosáhnout pevné a stabilní bezkontaktní adsorpce waferů využitím jejich speciálně navržené konfigurace a systému proudění vzduchu. Tato bezkontaktní provozní metoda může zabránit přímému kontaktu s polovodičovými destičkami a výrazně zabránit kontaminaci destiček nebo poškození způsobenému fyzickým kontaktem, což je zvláště vhodné pro ultračisté pracovní podmínky a jemný přenos destiček.

Spolehlivý fyzikální a chemický výkon

Keramika z oxidu hlinitého se vyznačuje vynikající tvrdostí a pevností, díky čemuž je Semicorex alumina Bernoullirobotické pažedobře se hodí pro dlouhodobou manipulaci s polovodičovými destičkami bez deformace a poškození.

Robotická ramena Semicorex alumina Bernoulli také poskytují spolehlivou odolnost proti chemické korozi a dokážou odolat náročným korozním plynům a plazmovému provoznímu prostředí, přičemž vykazují konstantní životnost po dlouhou dobu.

Přísná kontrola čistoty

Robotická ramena Semicorex alumina Bernoulli jsou vyráběna z vysoce čistého práškového oxidu hlinitého přesným izostatickým lisováním a vysokoteplotním slinováním. Tento přesný výběr materiálu a způsob zpracování umožňuje robotickým ramenům Semicorex alumina Bernoulli s čistou a hustou keramickou strukturou. Tím se výrazně snižuje riziko kontaminace plátků nežádoucími nečistotami z provozních podmínek.

Vynikající přesnost ovládání

Robotická ramena Semicorex alumina Bernoulli, dokončená přesným broušením a leštěním, poskytují výjimečnou rozměrovou přesnost a vynikající rovinnost povrchu, díky čemuž jsou velmi vhodná pro vysoce přesnou automatizovanou výrobu polovodičů. Robotická ramena Semicorex alumina Bernoulli se navíc mohou pochlubit vynikající tepelnou stabilitou, i když jsou vystavena prostředí se silnými teplotními výkyvy, dokážou si zachovat vynikající opakující se polohování a přesnost manipulace.