Keramický manipulátor z oxidu hlinitého

tím vyšší bude jeho síla. Keramické manipulátory Semicorex alumina jsou vyrobeny z vysoce čisté aluminové keramiky. Výsledkem je mimořádná mechanická pevnost a tvrdost. Jejich odolnost proti opotřebení daleko převyšuje odolnost oceli a chromové oceli, což jim umožňuje zachovat přesnost povrchu v průběhu času v prostředí s vysokým třením, čímž se snižuje riziko poškrábání plátků a jsou ideální pro vysoce přesnou manipulaci. Tento keramický manipulátor z oxidu hlinitého má vysoký odpor. Jeho vynikající elektrické izolační vlastnosti mohou účinně zabránit elektrostatickému rušení a snížit riziko adsorpce částic, aby se zachoval čistý povrch plátku. Kromě toho proces výroby polovodičů zahrnuje složité obvody a vysokonapěťová prostředí uvnitř zařízení. Vysoce odolný keramický manipulátor z oxidu hlinitého účinně blokuje vedení proudu a zajišťuje elektrickou bezpečnost při manipulaci s polovodičovými destičkami. Díky vysoké teplotní odolnosti a tepelné stabilitě hliníkové keramiky se manipulátor během procesu tepelného zpracování polovodičů velmi málo deformuje, dokáže přesně umístit destičky a vyhnout se odchylce přesnosti způsobené tepelnou deformací. Kromě toho má tento materiál vynikající chemickou stabilitu a je vysoce odolný vůči korozi kyselinami, zásadami, roztavenými kovy atd. Není snadné reagovat s jinými látkami za uvolňování znečišťujících částic a může účinně chránit polovodičové součásti před chemickou kontaminací.se také nazývá koncový efektor pro manipulaci s keramickou vidlicí a destičkou z oxidu hlinitého. Instaluje se na robot manipulující s destičkami a je ekvivalentní ruce robota. Používá se k přenášení, přepravě a umístění polovodičových destiček.Silikonové destičkyjsou extrémně náchylné ke kontaminaci jinými částicemi, takže se s nimi typicky manipuluje ve vakuovém prostředí, aby byla zajištěna čistota. Keramické manipulátory z oxidu hlinitého používají podtlakové sání k odstranění plátků a transportu polovodičových plátků prostřednictvím teleskopických, rotačních a zvedacích pohybů ramene. Uvnitř alumino-keramického manipulátoru jsou vzduchové otvory a ventilační drážky, které mohou při čerpání vzduchu vytvářet vakuum, takže polovodičové destičky mohou být adsorbovány světelným kontaktem bez sevření nebo poškození polovodičových destiček.

Je dobře známo, že čím čistší složeníkeramika z oxidu hlinitéhotím vyšší bude jeho síla. Keramické manipulátory Semicorex alumina jsou vyrobeny z vysoce čisté aluminové keramiky. Výsledkem je mimořádná mechanická pevnost a tvrdost. Jejich odolnost proti opotřebení daleko převyšuje odolnost oceli a chromové oceli, což jim umožňuje zachovat přesnost povrchu v průběhu času v prostředí s vysokým třením, čímž se snižuje riziko poškrábání plátků a jsou ideální pro vysoce přesnou manipulaci. Tento keramický manipulátor z oxidu hlinitého má vysoký odpor. Jeho vynikající elektrické izolační vlastnosti mohou účinně zabránit elektrostatickému rušení a snížit riziko adsorpce částic, aby se zachoval čistý povrch plátku. Kromě toho proces výroby polovodičů zahrnuje složité obvody a vysokonapěťová prostředí uvnitř zařízení. Vysoce odolný keramický manipulátor z oxidu hlinitého účinně blokuje vedení proudu a zajišťuje elektrickou bezpečnost při manipulaci s polovodičovými destičkami. Díky vysoké teplotní odolnosti a tepelné stabilitě hliníkové keramiky se manipulátor během procesu tepelného zpracování polovodičů velmi málo deformuje, dokáže přesně umístit destičky a vyhnout se odchylce přesnosti způsobené tepelnou deformací. Kromě toho má tento materiál vynikající chemickou stabilitu a je vysoce odolný vůči korozi kyselinami, zásadami, roztavenými kovy atd. Není snadné reagovat s jinými látkami za uvolňování znečišťujících částic a může účinně chránit polovodičové součásti před chemickou kontaminací.