Keramické vakuové sklíčidlo z hliníku

Semicorex Alumina Ceramic Vacuum Chuck hraje zásadní roli ve fázích ztenčování a broušení plátků při výrobě polovodičů. Tyto fáze zahrnují pečlivou redukci tloušťky waferového substrátu pro zvýšení odvodu tepla čipu, což je životně důležité pro zlepšení účinnosti a životnosti polovodičových zařízení. Ředění waferů podle přesných specifikací je také zásadní pro usnadnění pokročilých balicích technik.

Kompatibilita s více velikostmi plátků

Keramické vakuové sklíčidlo Alumina je navrženo tak, aby podporovalo širokou škálu velikostí plátků, včetně 2, 3, 4, 5, 6, 8 a 12 palců. Díky této přizpůsobivosti je vhodný pro širokou škálu prostředí výroby polovodičů a zajišťuje konzistentní a spolehlivý výkon napříč různými rozměry waferů.

Špičkové materiálové složení

Základna Alumina Ceramic Vacuum Chuck je vyrobena z ultračistého 99,99% oxidu hlinitého (Al2O3), který poskytuje výjimečnou odolnost proti chemickým útokům a tepelnou stabilitu. Adsorpční povrch je vyroben z porézního karbidu křemíku (SiC). Kompaktní a jednotná struktura porézního keramického materiálu zvyšuje jeho odolnost a výkon.

Výhody mikroporézní keramické technologie

Vylepšená rovinnost a rovnoběžnost: Mikroporézní keramické vakuové sklíčidlo z hliníku poskytuje výjimečnou rovinnost a rovnoběžnost, což zajišťuje přesnou manipulaci a stabilitu.

Optimální pórovitost a prodyšnost: Dobře rozmístěné mikropóry poskytují vynikající propustnost vzduchu a rovnoměrnou adsorpční sílu, což vede k hladkému a konzistentnímu provozu.

Čistota a trvanlivost materiálu: Naše keramické vakuové sklíčidlo Alumina je vyrobeno z 99,99% čistého oxidu hlinitého a je odolné vůči chemickým útokům a nabízí pozoruhodnou tepelnou stabilitu, díky čemuž je vhodné pro náročná výrobní prostředí.

Přizpůsobitelné designy: Nabízíme různé přizpůsobitelné tvary, včetně kruhových, čtvercových, smyčkových a L-tvarů, s možností tloušťky od 3 mm do 10 mm. Toto přizpůsobení zajišťuje, že naše Alumina Ceramic Vacuum Chuck splňuje specifické potřeby různých procesů výroby polovodičů.

Různé možnosti základních materiálů: Na základě požadavků na rovinnost a výrobní náklady poskytujeme doporučení pro různé základní materiály, jako je nerezová ocel SUS430, hliníková slitina 6061, hutná keramika Alumina (barva slonoviny), žula a hutná keramika z karbidu křemíku. Každý materiál je zvolen tak, aby optimalizoval hmotnost a výkon keramického vakuového sklíčidla Alumina.