Alumina End Effector

Semicorex Alumina End Effector se ukázal jako nepostradatelný nástroj v náročné sféře výroby polovodičů, kde dokonce i mikroskopické nedokonalosti mohou ohrozit výkon zařízení, roli přesné manipulace s destičkami nelze přeceňovat. Alumina End Effector poskytuje jedinečnou kombinaci přesnosti, čistoty a odolnosti, která je nezbytná pro manipulaci s jemnými křemíkovými plátky v různých výrobních procesech.**

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Volba materiálu pro Semicorex Alumina End Effector je řízena jedinečnou vhodností vysoce čisté aluminové keramiky pro drsná prostředí, se kterými se setkáváme při výrobě polovodičů:

Výjimečná čistota pro kontrolu kontaminace: Alumina End Effector, obsahující vysoce čistou aluminovou keramiku jako substrát, se vyznačuje extrémně nízkým obsahem nečistot, což zajišťuje, že do něj nebudou vnášet nečistoty, které by mohly ohrozit elektrické vlastnosti nebo výkon citlivých polovodičových zařízení.

Vysokoteplotní stabilita pro všestrannost procesu:Alumina End Effector vykazuje vynikající tepelnou stabilitu, zachovává si svou strukturální integritu a rozměrovou přesnost i při zvýšených teplotách, se kterými se setkáváme v procesech, jako je tepelná oxidace, difúze a chemické nanášení par.

Chemická inertnost pro drsná prostředí:Vlastní chemická odolnost Alumina End Effector jej činí nepropustným pro širokou škálu kyselin, zásad a rozpouštědel běžně používaných při zpracování polovodičů. Tato inertnost zabraňuje korozi nebo degradaci koncového efektoru, zajišťuje jeho dlouhodobý výkon a minimalizuje riziko kontaminace částicemi.

Robustní mechanické vlastnosti pro prodlouženou životnost:Keramika z oxidu hlinitého je známá svou tvrdostí, odolností proti opotřebení a schopností odolávat opakovaným cyklům manipulace a čištění bez degradace. Tato robustnost se promítá do prodloužené životnosti Alumina End Effector, což snižuje náklady na výměnu a prostoje.

Preciznost, čistota a odolnost Alumina End Effector z něj činí základní součást řady kritických procesů výroby polovodičů:

Fotolitografie:Přesné vyrovnání a umístění plátků je prvořadé ve fotolitografii, kde i nepatrné odchylky mohou vést k chybám nesprávného vyrovnání a selhání zařízení. Alumina End Effector poskytuje nezbytnou přesnost a stabilitu pro tento kritický procesní krok.

Chemická mechanická planarizace (CMP):Schopnost odolat chemicky agresivním kalům a mechanickým silám obsaženým v CMP činí z Alumina End Effector ideální řešení pro manipulaci s destičkami během tohoto kritického procesu, který planarizuje povrch destičky pro následné vrstvení.

Kontrola plátků a metrologie:Nekontaminující a nepoškozující povaha Alumina End Effector z něj dělá ideální pro manipulaci s destičkami během inspekce a metrologických procesů, zajišťuje přesná měření a minimalizuje riziko zavedení defektů.