Základní desky na montáž aluminy

Základní základní desky Semicorex Alumina jsou vysoce čisté keramické výrobky navržené jako odolné a stabilní základny pro montážní práce Chucks v polovodičovém výrobním zařízení. Tyto desky poskytují kritickou mechanickou podporu a zarovnání pro operace zpracování oplatky, jako je litografie, leptání, depozice a inspekce. Je nezbytné přesně zarovnat pracovní sklíčidlo s jinými komponenty systému, aby se zajistilo, že zpracování oplatky může dojít s požadovanou věrností. Destičky se vyrábějí technikami zpracování specifické pro keramiku k dosažení nezbytné rovinnosti, trvanlivosti s vysokou teplotou a dlouhodobé spolehlivosti, aby splňovaly drsné požadavky moderní výroby polovodičů v procesu i v čistém prostředí.

Polopicové základní desky s polovičními aluminami jsou vyrobeny z vysoké čistotyAluminamající úroveň čistoty ≧ 99,5% (typické). Vysoce čistotá oxidská hlinitá má dobré mechanické a tepelné vlastnosti a tvrdost. Vysoce čistotá oxidská hlinitá má vynikající vlastní elektrické izolační vlastnosti, které také umožňují používat tyto destičky ve vakuových a vysokých napěťových aplikacích, kde může být elektrické rušení. Hlibba bude odolná vůči tepelnému cyklování, což umožňuje destičkám udržovat lepší přesnost rozměru než většina materiálů a je prospěšná pro udržení zarovnání nebo strukturální stability v důsledku snížené tepelné roztažnosti. Tento faktor je důležitý při zajišťování opakovatelnosti sklíčivo a implicitních procesních tolerance, zatímco pracuje v prodloužených výrobních cyklech.

V systémech zpracování polovodičů není montážní základní deska pouze zařízením pro mechanické upevnění. Je to médium tepelného kontaktu mezi sklíčkem a zbytkem zařízení a je rozhodující pro tepelné rozptyl, strukturální integritu a izolaci vibrací. Účinky zpracování, jako jsou (ale nejen) CVD, PVD nebo iontová implantace, kde jsou vysoké teploty a vakuové tlaky běžné, vyžadují, aby montážní základna byla tepelně odolná, chemicky inertní a rezistentní, mechanicky zdravá a odolná vůči tepelnému šoku. Chemická inertnost je životně důležitá, protože držák musí být kompatibilní s reaktivními plyny, jakož i čištění chemií, prodloužením životnosti namontované a zabránění kontaminaci.

Každá montážní základní deska o hlinitém alumině vyrobená polovodíkem je obrobena na tolerance požadované polovodičovými OEM a integrátory vybavení. Destičky jsou obrobeny na těsné tolerance pro tloušťku, změnu výšky a rovinnost, aby byla zajištěna maximální stabilita a opakovatelnost. Tyto montážní desky mohou být vyrobeny s montážními otvory, sloty nebo čítači na specifikaci zákazníků, aby lépe vyhovovaly pracovním upínacím, mechanickým stadinám nebo jiným zařízením. Keramika aluminy se zpracovává pomocí moderních technik slinování a přesného broušení k optimalizaci jednotné mikrostruktury a kvality povrchu, aby se zajistil konzistentní tepelný kontakt a vyrovnání pro použití v průběhu času.

Základní desky montážních hlinitých hlinitých se používají v různých aplikacích včetně obslužných plodin, robotických přenosových systémů, vakuových sestav sklíčidla a metrologických fází. Díky této spolehlivosti a trvanlivosti v různých náročných procesních situacích z nich činí produkt výběru u výrobců nástrojů, kteří hledají robustní, dlouhodobé a nízké keramické komponenty. Naše inženýrská skupina spolupracuje se zákazníky na poskytování jedinečných řešení, která jsou specifikována pro každou desku, aby se maximalizovala účinnost pro výrobu v polovodiči.

Základní desky na montáž aluminy jsou více než jen mechanická podpora; Je to klíčovou součástí přesného inženýrství v polovodičovém průmyslu. S vynikající mechanickou stabilitou, čistotou a konfigurabilitou zajišťují přesné zarovnání, dlouhou životnost a spolehlivou operaci v rozsáhlém rozsahu procesů procesů. U vysoce výkonných montážních základních desek, splnění vysokých očekávání dnešních výrobců polovodičů, Trust Semicorex.