Alumina robot paže

Rameno robota SEMICOREX Alumina je vysoce výkonná keramická část určená pro úkoly pro manipulaci s oplatkou a přenosové úkoly při výrobě polovodičů. Tato robotická rameno, vyrobená z vysoce čistého aluminy keramiky (Al₂o₃), nabízí flexibilitu, přesnost, spolehlivost a trvanlivost v čistých místnostech.

To, co vyniká ve prospěch paže robota aluminy, jsou vlastnostiOteramika oxidu hlinitáMechanická síla a tvrdost. JakoAluminaje čistější, alumina udržuje lepší strukturální integritu a činí ji odolnější vůči mechanickému opotřebení a deformaci. Jako materiál je alumina skvělou volbou pro robotické části, které se používají při jemných a opakujících se úkolech pro manipulaci s oplatkou, tj. Když robotická rameno potřebuje vykonávat stejnou funkci a navázat kontakt s oplatky, že menší zkreslení aplikované na oplatku může stát ztráty výnosu zařízení. Vysoká tvrdost, tj. Tuhá povrchy, může pomoci s abrazivním odporem a funkčním životem, tj. Prodloužení života a trvání služby/ výměny na robotickou složku.

Kromě mechanické trvanlivosti je rameno robota aluminy také vynikajícím elektrickým izolátorem. Odolnost je až 10⁵ Ω · cm a izolační síla je až 15 kV/mm při pokojové teplotě, což poskytuje mnohem bezpečnější prostředí pro provoz, zejména při interferování elektrických signálů musí být ve zpracovatelském zařízení sníženo. To se stává důležitým při ochraně citlivých polovodičových složek přenášení mezi procesy s minimálním rizikem poškození elektrostatického výboje (ESD).

Keramika aluminy je vynikající při udržování stability ve velmi vysokých teplotách. Bod tání je asi 2050 ° C a vydrží vysoké teploty v tepelném zpracování polovodiče bez deformace nebo dimenzionální přesnosti. Vysoká tepelná odolnost umožňuje použití ramene v procesech, jako je rychlé tepelné žíhání (RTA) nebo depozice chemické páry (CVD), kde je kritické přesné zarovnání a tepelná stabilita.

Jednou z dalších významných výhod ramene aluminy robota je jeho setrvačnost. Jeho povrch je inertní pro většinu čisticích prostředků a zpracovatelských plynů používaných při výrobě polovodičů. Proto zůstane bez kontaminace a nepřispívá k kontaminaci povrchu oplatky. Tato chemická ivarta je klíčem k dosažení podmínek ultračisté výroby a poskytování konzistentního výkonu zařízení.

Oteramika oxidu hlinitáje také cenově dostupnou možností pro polovodičové nástroje. Je snadno dostupný jako surovina a obráběcí procesy keramiky oxidu hlinité jsou dobře pochopeny a snadno škálovatelné. To umožňuje produkovat reprodukovatelné a konzistentní tolerance pro vysoce kvalitní díly za konkurenceschopnou cenu. Díky kombinaci výkonu a cenové dostupnosti je robotická rameno aluminy ideální pro OEM a polovodičové Fabs, kde potřebujete spolehlivé automatizační komponenty, které banku nezlomí.

Stručně řečeno, rameno robota aluminy poskytuje vysoký mechanický výkon, vysoký dielektrický výkon, vysoký tepelný odolnost, vysoký chemický výkon, to vše s prokázanou výrobou za ekonomickou cenu. Společně tyto charakteristiky výkonnosti činí spolehlivé a efektivní pro přesné aplikace pro manipulaci s oplatkou ve výrobě polovodičů, což umožňuje zlepšený výnos, potenciálně snižuje riziko kontaminace a zlepšuje celkovou účinnost zařízení.