Sklíčidla Semicorex s prstencovou drážkou z oxidu hlinitého, speciálně navržená pro vysoce přesné systémy upevňování a adsorpce destiček, jsou vysoce výkonné vakuové upínací součásti používané pro výrobu špičkových polovodičových destiček. Výběr Semicorex, výběr optimálních řešení upínání destiček.
Sklíčidla Semicorex s prstencovou drážkou z oxidu hlinitého mají povrchovou strukturu sestávající z řady vícenásobných soustředných prstencových drážek. Po spojení s vakuovou pumpou tvoří tyto drážky prstencové podtlakové zóny pro stabilní držení tenkých plátků a obrobků s přesným polohováním. Sklíčidla Semicorex s prstencovou drážkou z oxidu hlinitého fungují dobře za pracovních podmínek vyžadujících přísné řízení rovinnosti a rovnoměrně rozloženou adsorpční sílu, které se široce používají při držení plátků, umístění expozice, plazmovém leptání a také při kontrole a přenosu plátků.
Keramika z oxidu hlinitého vyrobená zhušťovacím slinováním vykazuje pozoruhodné tepelné vlastnosti. Díky této materiálové vlastnosti pracují sklíčidla Semicorex s prstencovou drážkou alumina stabilně v extrémně vysokých teplotách, bez strukturální deformace a snížení výkonu při dlouhodobém používání.
Semicorex s prstencovou drážkouhliníková sklíčidlamají na svém adsorpčním povrchu více prstencových drážek, ve kterých se vytvářejí stabilní prstencové vakuové zóny. Tato konfigurace umožňuje konzistentní adsorpční sílu napříč hlavními kontaktními oblastmi plátku, což výrazně snižuje částečnou deformaci plátku a deformaci.
Sklíčidla Semicorex s prstencovou drážkou z oxidu hlinitého, která se mohou pochlubit vynikající tuhostí materiálu a strukturální stabilitou, jsou schopna udržet vynikající rovinnost a konzistentní přesnost polohování během opakovaného vakuového upínání po dlouhou dobu.
Kvůlioxid hlinitýDíky spolehlivé chemické stabilitě se sklíčidla Semicorex s prstencovou drážkou alumina vyznačují vynikající odolností vůči většině kyselých a zásaditých látek, jakož i různým korozivním procesním plynům a jsou vysoce přizpůsobeny náročným korozním provozním podmínkám.
Díky přísné kontrole čistoty materiálu a úpravě zhušťování sklíčidla Semicorex s prstencovou drážkou z oxidu hlinitého při provozu jen zřídka uvolňují částice nebo uvolňují nečistoty, což plně vyhovuje přísným normám pro nízkou kontaminaci v čistých prostorách pro polovodiče.
Jako přední společnost v čínském odvětví má Semicorex podporu integrovaných výrobních linek a zkušeného technického týmu. Našim zákazníkům můžeme nabídnout technickou podporu na míru a optimalizovaná procesní řešení a zajistit jim nestandardní zakázkovou výrobu našich prstencově drážkovaných aluminových sklíčidel v čistotě materiálu, tvaru sklíčidel, rozměrech, rovinnosti, tolerancích a dalších požadavcích.