Keramické zaostřovací kroužky pro polovodiče

Keramika Semicorexzaostřovací kroužeks pro polovodiče jsou ideálním řešením přizpůsobeným pro drsné provozní podmínky plazmového leptání. Během sofistikovaného procesu leptání polovodičů je klíčové přesně řídit distribuci plazmatu, což může zajistit stabilitu leptací komory a konzistentní rovnoměrnost leptání polovodičů. Jako nepostradatelné součásti používané v pokročilém leptacím zařízení jsou zaostřovací kroužky obvykle umístěny kolem polovodičových destiček a přicházejí s nimi do přímého kontaktu. Výkon zaostřovacích kroužků má přímý dopad na opakovatelnost procesu, výtěžnost produktu a dobu provozuschopnosti zařízení.

Výhody keramických zaostřovacích kroužků Semicorex pro polovodiče

1. Ultra vysoká čistota materiálu

Čistota našíCVD SiCmateriál přesahuje 99,9995 %. To může účinně zabránit kontaminaci leptací komory a polovodičových destiček způsobené nedostatečnou čistotou materiálu.

2. Výjimečná odolnost proti korozi

Keramické ohniskové kroužky Semicorex pro polovodiče jsou vyrobeny z CVD SiC, vyznačující se vynikající odolností proti oxidaci, erozi a chemické korozi, jsou zvláště účinné proti procesním plynům, jako je HF a HCI, a také plazmovému plynu.

3.Vynikající odporový výkon

Rovnoměrnost odporu keramických zaostřovacích kroužků Semicorex pro polovodiče je menší než 5 %.

Rozsahy odporu: Nízké rozlišení. (<0,02 Ω·cm), Střední Res. (0,2–25 Ω·cm), vysoké rozlišení (>100 Ω·cm).

Funkce keramických ohniskových kroužků Semicorex pro polovodiče

1.Ovládejte a sjednocujte okrajové elektrické pole a distribuci plazmatu

Keramické zaostřovací kroužky Semicorex pro polovodiče mohou řídit rozložení elektrického pole uvnitř leptací komory a dosáhnout rovnoměrnějšího plazmového pláště kolem polovodičových destiček, což umožňuje dopad plazmatu na povrch destičky vertikálním a rovnoměrným způsobem. Tímto způsobem lze výrazně snížit efekt leptání a výrazně zlepšit přesnost leptání.

2. Chraňte elektrostatické sklíčidlo

Bez ochrany ohniskových kroužků v procesu leptání bude elektrostatické sklíčidlo vystaveno ostřelování a erozi vysokoenergetického plazmatu. Elektrostatická upínače jsou vyrobena z vysoce nákladných materiálů s extrémně vysokými náklady na výměnu. Použití zaostřovacích kroužků může účinně snížit plazmovou korozi na elektrostatickém upínači a minimalizovat náklady na údržbu a výměnu elektrostatického upínače.