Podpěrný zásobník kelímku

Při výrobě vysokoteplotních polovodičů jsou stabilita a přesnost rozhodující pro zajištění konzistentní kvality krystalů. Semicorex Crucible Support Tray hraje zásadní, ale často přehlíženou roli při udržování integrity procesu růstu krystalů tím, že poskytuje spolehlivý základ v extrémních tepelných a mechanických podmínkách.

Podpěrný zásobník kelímku, také známý jako auhlík/uhlík (C/C)držák kelímku, je speciálně navržen tak, aby podporoval křemenné nebo grafitové kelímky během růstu monokrystalu křemíku. Tato součást, umístěná na základně tepelného pole, musí odolat dlouhodobému vystavení vysokým teplotám při zachování strukturální integrity a rozměrové stability. Jeho robustní konstrukce zajišťuje, že kelímek zůstane během procesu bezpečně umístěn, čímž se minimalizují vibrace, deformace nebo nesouosost, které by mohly negativně ovlivnit kvalitu krystalu.

Role podpůrného zásobníku C/C

Během růstu monokrystalického křemíku teploty často přesahují 1400°C. Tradiční grafitové materiály, i když jsou užitečné, často čelí problémům týkajícím se životnosti a deformace pod velkou tíhou roztaveného křemíku. Naše C/C Composite Crucible Support Tray řeší tyto bolestivé body.

Využitím matrice vyztužené uhlíkovými vlákny s vysokou pevností nabízí tato vanička profil tepelné roztažnosti „téměř nule“ a výjimečnou nosnost. Slouží jako rozhraní mezi kelímkem a rotačním hřídelem, udržuje dokonale vodorovnou rovinu, aby se zabránilo turbulenci taveniny a defektům krystalů.

Technické specifikace a dokonalost materiálu

Hustota: ≥ 1,3 g/cm³

Pevnost v ohybu: ≥ 110 MPa

Koeficient tepelné roztažnosti (CTE): ≤ 1,0 × 10⁻⁶ /K

Pevnost v tlaku: ≥ 160 MPa