Vakuová pec CVD a CVI

Semicorex je velký výrobce a dodavatel produktů potažených karbidem křemíku v Číně. Poskytujeme řešení pecí na míru. Naše vakuová pec CVD a CVI má dobrou cenovou výhodu a pokrývá mnoho evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Vakuová pec Semicorex CVD a CVI je vysoce kvalitní nástroj určený pro procesy chemické depozice z plynné fáze (CVD). Reakční teploty až 2200 °C. Je schopen nanášet širokou škálu materiálů, včetně karbidu křemíku, nitridu boru, grafenu a dalších. CVD pec má robustní konstrukci a je vyrobena z vysoce kvalitních materiálů, které zajišťují spolehlivost a odolnost pro dlouhodobé používání. Má horizontální i vertikální strukturu.

Aplikace:C/C kompozitní brzdový kotouč, kelímek, forma atd.

Vlastnosti vakuové pece Semicorex CVD a CVI

1.Robustní provedení z vysoce kvalitních materiálů pro dlouhodobé používání;

2.Přesně řízená dodávka plynu pomocí regulátorů hmotnostního průtoku a vysoce kvalitních ventilů;

3. Vybaveno bezpečnostními funkcemi, jako je ochrana proti přehřátí a detekce úniku plynu pro bezpečný a spolehlivý provoz;

4. Použití více zón regulace teploty, velká rovnoměrnost teploty;

5.Speciálně navržená depoziční komora s dobrým těsnícím účinkem a skvělým výkonem proti kontaminaci;

6. Použití více depozičních kanálů s rovnoměrným průtokem plynu, bez depozičních mrtvých rohů a dokonalým depozičním povrchem;

7. Má úpravu pro dehet, pevný prach a organické plyny během procesu depozice

Volitelné funkce:

•Dvířka pece: šroubový/hydraulický/ruční typ zdvihu;kyvné otevírání/paralelní otevírání (velká velikost

dveře pece); ruční utažení / automatické utažení pojistného kroužku

• Nádoba pece: celá uhlíková ocel/vnitřní vrstva nerezová ocel/celá nerezová ocel

• Horká zóna pece: měkká uhlíková plsť/měkká grafitová plsť/tuhá kompozitní plsť/CFC

•Topné těleso a mufle: izostatický lisovaný grafit/grafit vysoké čistoty, pevnosti a hustoty/jemný grafit

• Systém procesního plynu: objemový/hmotnostní průtokoměr

• Termočlánek: typ K/typ N/typ C/typ S

Specifikace CVD pece
Model	Velikost pracovní zóny (Š × V × D) mm	Max. Teplota (°C)	Teplota Rovnoměrnost (°C)	Maximální vakuum (Pa)	Rychlost zvýšení tlaku (Pa/h)
LFH-6900-C	600×600×900	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-10015-C	1000×1000×1500	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-1220-C	1200×1200×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-1530-C	1500×1500×3000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-2535-C	2500×2000×3500	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D3050-C	φ300×500	1500	±5	1-100	0.67
LFV-D6080-C	φ600×800	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D8120-C	φ800×1200	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D11-C	φ1100×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D26-C	φ2600×3200	1500	±10	1-100	0.67

*Výše uvedené parametry lze upravit podle požadavků procesu, nejsou jako akceptační standard, podrobná specifikace. bude uvedeno v technickém návrhu a dohodách.