Okrajové kroužky

Okrajové prsteny Semicorex jsou kritickou součástí úplného výrobního procesu polovodiče, zejména pro aplikace zpracování destiček, včetně lepení plazmy a chemické depozice par (CVD). Okrajové kroužky jsou navrženy tak, aby obklopovaly vnější obvod polovodičové destičky, aby bylo možné rovnoměrně distribuovat energii a zároveň zlepšit stabilitu procesu, výnos oplatky a spolehlivost zařízení. Naše okrajové kroužky jsou vyrobeny z vysoce čistého chemického depozičního karbidu pro depozice páry (CVD sic) a jsou postaveny pro náročné procesní prostředí.

Problémy se vyskytují během procesů na bázi plazmy, kde energetická nejednotnost a zkreslení plazmy na okraji oplatky vytváří riziko defektů, driftu procesu nebo ztráty výnosu. Okrajové kroužky minimalizují toto riziko zaostřením a tvarováním energetického pole kolem vnějšího obvodu oplatky. Hranové kroužky sedí těsně před vnějším okrajem oplatky a působí jako procesní bariéry a energetické průvodce, které minimalizují efekty okrajů, chrání okraj oplatky před nadměrným potahem a dodávají základní další uniformitu přes povrch oplatky.

Výhody materiálu CVD SiC:

Naše okrajové kroužky jsou vyráběny z vysoce čistého CVD SIC, které je jedinečně navrženo a navrženo pro drsné procesní prostředí. CVD SIC je charakterizována výjimečnou tepelnou vodivostí, vysokou mechanickou pevností a vynikající chemickou odolností - všechny atributy, díky nimž CVD je materiál volby pro polovodičové aplikace vyžadující trvanlivost, stabilitu a problémy s nízkou kontaminací.

Vysoká čistota: CVD SIC má téměř nulové nečistoty, což znamená, že bude generováno jen málo nebo žádné částice a žádná kontaminace kovů, která je životně důležitá u polovodičů pokročilých uzlů.

Tepelná stabilita: Materiál udržuje rozměrovou stabilitu při zvýšených teplotách, což je zásadní pro správné umístění oplatky ve své poloze v plazmě.

Chemická inertnost: Je to inertní k korozivním plynům, jako jsou plyny obsahující fluorin nebo chlor, které se běžně používají v prostředí lektu v plazmě i CVD.

Mechanická síla: CVD SIC vydrží praskání a erozi v prodloužených časových obdobích cyklu, což zajišťuje maximální život a minimalizuje náklady na údržbu.

Každý okrajový kroužek je na vlastní konstrukci tak, aby vyhovoval geometrickým rozměrům procesní komory a velikosti oplatky; obvykle 200 mm nebo 300 mm. Návrhové tolerance se berou velmi pevně, aby se zajistilo, že okrajový kroužek může být použit ve stávajícím procesním modulu bez nutnosti úpravy. Vlastní geometrie a povrchové úpravy jsou k dispozici pro splnění jedinečných požadavků na OEM nebo konfigurace nástrojů.