Elektrostatické sklíčidlo

Elektrostatické sklíčidlo Semicorex využívá vysoce čistou keramiku z oxidu hlinitého a poskytuje špičkový výkon v nastavení, která upřednostňují přesnost, stabilitu a čistotu. Oxid hlinitý, také známý jako oxid hlinitý (Al2O3), je keramický materiál známý pro své výjimečné elektroizolační vlastnosti, vysokou tepelnou vodivost a mimořádnou mechanickou pevnost. Tyto vlastnosti z něj dělají ideální materiál pro konstrukci elektrostatického upínače, navrženého tak, aby vydržel náročné podmínky zpracování polovodičů. Aluminová keramika ESC je navržena tak, aby vydržela vysoké teploty, korozivní prostředí a mechanické namáhání během manipulace a zpracování plátků, což hraje klíčovou roli při zajišťování výtěžnosti a kvality polovodičových součástek.

Základním principem elektrostatického sklíčidla je elektrostatická síla, která se používá k bezpečnému držení destičky na místě. Tato síla je generována aplikací napětí na elektrody uložené v keramickém materiálu. Interakce mezi elektrostatickým polem a indukovanými náboji na povrchu destičky vytváří silnou upínací sílu, která drží destičku proti povrchu sklíčidla. Konstrukce hliníkové keramiky ESC zajišťuje, že tato upínací síla je rovnoměrně rozložena po celém plátku, čímž se minimalizuje riziko sklouznutí nebo poškození během zpracování.

Jednou z klíčových výhod použití hliníkové keramiky v konstrukci elektrostatického sklíčidla jsou její výjimečné elektrické izolační vlastnosti. Vysoká dielektrická pevnost oxidu hlinitého umožňuje použití vysokého napětí bez rizika elektrického průrazu, což je klíčové pro zachování integrity elektrostatického pole. To je zvláště důležité v procesech, jako je plazmové leptání nebo chemické nanášení par, kde je plátek vystaven vysoce reaktivnímu prostředí a jakákoli změna upínací síly by mohla vést k defektům nebo poškození plátku.

Kromě svých elektrických vlastností vykazuje hliníková keramika vynikající tepelnou vodivost, která je nezbytná pro řízení tepla generovaného během zpracování polovodičů. Schopnost elektrostatického sklíčidla účinně odvádět teplo pomáhá udržovat stabilní teplotu na plátku a snižuje teplotní gradienty, které by mohly vést k deformaci nebo jiným formám tepelného namáhání. Tato tepelná stabilita je rozhodující pro zajištění přesnosti a opakovatelnosti procesů, jako je fotolitografie, kde i nepatrné teplotní odchylky mohou ovlivnit výsledek.