Podstavec z taveného křemene

Při výrobě polovodičů slouží Fused Quartz podstavec jako nosná konstrukce pro křemennou loď, která drží destičky. Udržováním konstantní teploty pomáhá dosáhnout rovnoměrného nanášení tenkých vrstev, což je kritický faktor pro výkon a spolehlivost polovodičových součástek. Podstavec zajišťuje rovnoměrné rozložení tepla a světla v procesní komoře, čímž se zvyšuje celková kvalita procesu nanášení.

Výhody materiálu Fused Quartz

1. Odolnost vůči vysokým teplotám

Fused Quartz podstavec se může pochlubit bodem měknutí přibližně 1730 °C, což mu umožňuje vydržet dlouhodobé používání při teplotách v rozmezí od 1100 °C do 1250 °C. Navíc vydrží krátkodobé vystavení teplotám až 1450 °C.

2. Odolnost proti korozi

Fused Quartz podstavec je chemicky inertní vůči většině kyselin, s výjimkou kyseliny fluorovodíkové. Jeho odolnost vůči kyselinám převyšuje odolnost keramiky 30krát a nerezové oceli 150krát. Při zvýšených teplotách se žádný jiný materiál nevyrovná chemické stabilitě taveného křemene, takže je ideální volbou pro drsná chemická prostředí.

3. Tepelná stabilita

Jednou z výjimečných vlastností podstavce Fused Quartz je jeho minimální koeficient tepelné roztažnosti. Tato vlastnost mu umožňuje odolat prudkým změnám teplot bez praskání. Například může být rychle zahřát na 1100 °C a poté ponořen do vody při pokojové teplotě, aniž by utrpěl poškození – základní charakteristika pro vysoce namáhané výrobní procesy.

Výrobní proces

Výrobní proces pro Fused Quartz podstavec je pečlivě kontrolován, aby byly zajištěny nejvyšší standardy kvality. Podstavce jsou vyráběny tepelným tvarováním a svařováním prováděným v prostředí čistých prostor třídy 10 000 nebo vyšší. Následné čištění ultračistou vodou (18 MΩ)dále zajišťuje čistotu a výkon produktu. Každý tavený křemenný podstavec prochází přísnou kontrolou, čištěním a balením v čisté místnosti třídy 1000 nebo vyšší, aby byly splněny přísné požadavky na výrobu polovodičů.

Vysoce čistý neprůhledný křemenný materiál

K účinnému blokování tepla a světla využívá Fused Quartz podstavec vysoce čistý neprůhledný křemenný materiál. Jedinečné vlastnosti tohoto materiálu zvyšují schopnost podstavce udržovat stabilní a rovnoměrnou teplotu v procesní komoře, čímž zajišťují konzistentní kvalitu nanášení tenkého filmu na destičky.

Široká škála aplikací

Díky výjimečným vlastnostem podstavce Fused Quartz je vhodný pro různé aplikace v polovodičovém průmyslu. V procesech ALD podporuje přesné řízení růstu tenkých vrstev na atomární úrovni, což je nezbytné pro výrobu pokročilých polovodičových součástek. Během procesů LPCVD přispívá tepelná stabilita podstavce a schopnost blokovat světlo k rovnoměrnému nanášení filmu, což zlepšuje výkon zařízení a výtěžnost.

V difúzních procesech zajišťuje odolnost proti vysokým teplotám a chemická inertnost Fused Quartz podstavec spolehlivé a konzistentní dopování polovodičových materiálů. Tyto procesy jsou rozhodující pro definování elektrických vlastností polovodičových součástek a použití vysoce kvalitních materiálů, jako je tavený křemen, je nezbytné pro dosažení optimálních výsledků.