Tavený křemenný prsten

Aplikace Semicorex Fused Quartz Ring v polovodičovém leptání

Proces leptání polovodičů je zásadním krokem při výrobě polovodičových součástek. Během leptání jsou specifické oblasti plátku selektivně odstraněny, aby se vytvořily složité vzory. Tento proces vyžaduje materiály, které vydrží extrémní podmínky a poskytují konzistentní výkon. Fused Quartz Ring je navržen tak, aby splňoval tyto přísné požadavky a zajistil, že proces leptání je přesný, účinný a spolehlivý.

Výhody taveného křemenného prstenu Semicorex

1. Výjimečná čistota

Čistota SiO2 v prstenci Fused Quartz Ring je jednou z jeho nejvýznamnějších výhod. S úrovněmi čistoty v rozmezí od 99,995 % do 99,999 % zajišťuje Fused Quartz Ring minimální kontaminaci a vysoce kvalitní výsledky leptání. Tato vysoká čistota je rozhodující při výrobě polovodičů, kde i ty nejmenší nečistoty mohou ovlivnit výkon a spolehlivost konečného produktu.

2. Vynikající tepelná stabilita

Fused Quartz Ring je navržen tak, aby vydržel extrémní teploty, s provozní teplotou až 1250 °C a teplotou měknutí 1730 °C. Tato vysoká tepelná stabilita umožňuje, aby si Fused Quartz Ring zachoval svou strukturální integritu a výkon za intenzivních tepelných podmínek, které se běžně vyskytují při procesu leptání.

3. Nízký koeficient expanze

Extrémně nízký koeficient roztažnosti Fused Quartz Ring jej činí vysoce odolným vůči teplotním šokům. Tato vlastnost je klíčová v procesu leptání, kde může docházet k rychlým změnám teploty. Nízký koeficient roztažnosti zajišťuje, že Fused Quartz Ring zůstává stabilní a spolehlivý, což snižuje riziko prasknutí a dalších problémů souvisejících s tepelným namáháním.

4. Chemická odolnost

Fused Quartz Ring vykazuje vynikající odolnost vůči kyselinám a zásadám. Tato chemická odolnost zajišťuje, že Fused Quartz Ring vydrží drsné podmínky procesu leptání a zachová si svůj výkon a trvanlivost po dlouhou dobu.

5. Bez mikrobublin a nízkým obsahem hydroxylů

Absence mikrobublin a nízký obsah hydroxylů v prstenci Fused Quartz Ring zajišťuje, že poskytují konzistentní a spolehlivý výkon. Mikrobubliny a vysoký obsah hydroxylů mohou vést k defektům a kontaminaci v procesu leptání, což ovlivňuje kvalitu a spolehlivost konečného produktu.

6. Nízká tepelná vodivost a dielektrická konstanta

Fused Quartz Ring má velmi nízkou tepelnou vodivost a dielektrickou konstantu, stejně jako nejnižší ztrátovou tangentu téměř ze všech známých materiálů. Nízká tepelná vodivost pomáhá účinně odvádět teplo a snižuje riziko tepelného poškození plátku. Nízká dielektrická konstanta a ztrátová tangenta zajišťují, že naše křemenné kroužky poskytují vynikající elektrickou izolaci, snižují riziko elektrického rušení a zlepšují celkovou účinnost procesu leptání.