Grafitový susceptor Semicorex navržený speciálně pro epitaxní zařízení s vysokou tepelnou a korozní odolností v Číně. Naše susceptory GaN-on-SiC Substrate mají dobrou cenovou výhodu a pokrývají mnoho evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Nosiče plátků GaN-on-SiC Substrát používané ve fázích nanášení tenkých vrstev nebo při zpracování plátků musí vydržet vysoké teploty a drsné chemické čištění. Semicorex dodává vysoce čistý susceptor GaN-on-SiC Substrate potažený SiC poskytuje vynikající tepelnou odolnost, rovnoměrnou tepelnou rovnoměrnost pro konzistentní tloušťku a odolnost epi vrstvy a trvanlivou chemickou odolnost. Jemný krystalový povlak SiC poskytuje čistý, hladký povrch, který je kritický pro manipulaci, protože nedotčené plátky se dotýkají susceptoru na mnoha místech po celé své ploše.
Ve společnosti Semicorex se zaměřujeme na poskytování vysoce kvalitních a cenově výhodných produktů našim zákazníkům. Náš susceptor GaN-on-SiC Substrate má cenovou výhodu a je vyvážen na mnoho evropských a amerických trhů. Naším cílem je být vaším dlouhodobým partnerem, dodávat produkty konzistentní kvality a výjimečné služby zákazníkům.
Parametry GaN-on-SiC substrátového susceptoru
Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC |
||
Vlastnosti SiC-CVD |
||
Krystalická struktura |
FCC β fáze |
|
Hustota |
g/cm³ |
3.21 |
Tvrdost |
Tvrdost podle Vickerse |
2500 |
Velikost zrna |
μm |
2~10 |
Chemická čistota |
% |
99.99995 |
Tepelná kapacita |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Teplota sublimace |
℃ |
2700 |
Felexurální síla |
MPa (RT 4-bodové) |
415 |
Youngův modul |
Gpa (4pt ohyb, 1300â) |
430 |
Tepelná expanze (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Tepelná vodivost |
(W/mK) |
300 |
Vlastnosti substrátového susceptoru GaN-on-SiC
- Grafitový substrát i vrstva karbidu křemíku mají dobrou hustotu a mohou hrát dobrou ochrannou roli ve vysokoteplotním a korozivním pracovním prostředí.
- Susceptor potažený karbidem křemíku používaný pro růst monokrystalů má velmi vysokou rovinnost povrchu.
- Snižte rozdíl v koeficientu tepelné roztažnosti mezi grafitovým substrátem a vrstvou karbidu křemíku, účinně zlepšujte pevnost spoje, aby se zabránilo praskání a delaminaci.
- Grafitový substrát i vrstva karbidu křemíku mají vysokou tepelnou vodivost a vynikající vlastnosti distribuce tepla.
- Vysoký bod tání, odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách, odolnost proti korozi.