Cítil sklovitý povlak z uhlíku

Semicorex skleněný uhlíkový povlak se cítil jako vnitřní izolační vrstva v epitaxiálních reaktorech karbidu křemíku. Jedná se o vysoce výkonný izolační materiál určený pro pokročilé tepelné prostředí. Tento produkt překonává typické polovodičové výzvy pro výrobu vysoce teploty tím, že nabízí vynikající řešení díky svým lehkým a vynikajícím tepelným izolačním vlastnostemGrafit cítil, spojené s povrchovou integritou a chemickou inertitou, která je propůjčena skelným uhlíkovým povlakem.

Základní materiál je vysoká čistotaGrafit cítilVybral pro svou nízkou teplotní stabilitu a nízkou teplotu a lehkou hmotnost. Normální grafitový pocit, že obvykle má uvolňování povrchových vláken a vytváření částic při zvýšených teplotách, které mohou kontaminovat procesní prostředí v citlivých epitaxiálních systémech. Aby se tento problém zmírnil, je povrch plsti grafitu rovnoměrně potažen vrstvou sklovitého uhlíku-hustá, neporézní forma uhlíku známá svou chemickou inertitou, nízkou propustností plynu a výjimečnou tepelnou stabilitou.

Sklonný uhlík je negraptizovaný uhlík, který kombinuje vlastnosti skla a keramiky. Na rozdíl od krystalického grafitu se jedná o amorfní, téměř 100% hybridizovaný uhlíkový materiál SP2, který je tvořen vysokoteplotním slinováním polymerovaných organických prekurzorů, jako je fenolická pryskyřice, pryskyřice s kožešinami, atd., V inertní plynové atmosféře. Protože je černý po celou dobu a má hladký povrch podobný sklenici, nazývá se sklovitý uhlík.

Sklonný uhlíkový povlak může eliminovat tvorbu částic pece, poskytovat utěsněné povrchové póry, mít vynikající demontážní vlastnosti a snížit propustnost, což činí tento materiál velmi vhodný pro kontinuální lití a produkty v polovodičovém průmyslu. Tento materiál má širokou škálu aplikací v polovodičovém průmyslu, zejména v grafitových částech, jako jsou komponenty zařízení pro tahání křemíku s jedním krystalem, komponenty epitaxiálního růstu, formy kontinuálního odlévání, skleněné těsnicí přípravky atd.

Sklonný uhlík má vysokou teplotní odolnost do 3000 ° C v inertním plynu nebo vakuu a na rozdíl od všech ostatních keramických a kovových vysokoteplotních materiálů se síla sklovitého uhlíku zvyšuje s rostoucí teplotou až na 2700 000 a nestane se křehký a nemá extrémně vysokou odolnost proti tepelnému šoku, takže krátké zahřívání a chladicí doba není problém. Kromě toho má skelný uhlík nízkou hmotnost, nízkou absorpci tepla a nízkou tepelnou roztažení, takže je vhodný pro téměř všechny aplikace s vysokou teplotou.

Sklonný uhlíkový povlak hraje klíčovou roli při těsnění povrchových pórů pocitu grafitu, což výrazně snižuje uvolňování částic a prachu uhlíku během provozu. To je zvláště kritické v procesech růstu epitaxiálních sic, kde i minimální kontaminace může ohrozit kvalitu destičky a výkon zařízení. Zapojení porézní struktury plsti s hladkým, tvrdým sklovitým uhlíkovým skořápkem zajišťuje v reakční komoře čisté a stabilní tepelné prostředí.

Mezi klíčové výhody skelného uhlíkového povlaku patří:

Snížené uvolňování částic: Hustý povlak účinně zamkne ve volných vláknech a částicích, což zabraňuje kontaminaci oplatků a složek reaktoru.

Vysoká tepelná stabilita: Grafit plstěný i sklovitý uhlík vydrží teploty přesahující 2000 ° C v inertních nebo vakuových atmosférách, což činí produkt ideální pro vysokoteplotní sic procesy.

Chemická inernty: Sklonný povrch uhlíku je odolný vůči většině kyselin a korozivních plynů a prodlouží provozní životnost izolační vrstvy za drsných podmínek.

Vylepšená konzistence procesu: Minimalizovaná tvorba částic přispívá ke stabilnějšímu a opakovanějšímu epitaxiálnímu růstovému prostředí, které je nezbytné pro produkci vysoce kvalitních oplatků SIC.

Aplikace sklovitého uhlíkového povlaku se cítily primárně na sic epitaxiální růstové pece, kde se používá jako tepelná izolační vrstva v horké zóně. Produkt je obvykle instalován jako podšívka v horních nebo dolních izolačních zásobnících, kde poskytuje jak tepelnou ochranu, tak zajištění čistoty.