Grafit Chuck

Semicorex Graphite Chuck je navržen zSpecializovaný grafit, rozpoznán za jeho vynikající tepelnou a chemickou odolnost. Jedinečný příklad takového grafitového sklíčidla, který byl speciálně vytvořen z této formy grafitu, protože je známý pro svou velmi vysokou odolnost vůči chemikáliím a teplem. Díky tomu jsou sklíčivo velmi dlouhodobé a budou fungovat v nejobtížnějších podmínkách při použití při chemické depozici párů (CVD) nebo leptání v plazmě nebo dokonce v peci s vysokou teplotou. Vysoká čistota s velmi nízkými nečistotami by tedy již znamenala, že by během produkce polysiliconu nezpůsobily kontaminaci. Jsou schopny nosit teploty daleko nad 2000 ° C bez jakékoli pozoruhodné deformace, protože jsou velmi stabilní při zvýšené teplotě. Kromě toho mají také vynikající odolnost vůči většině chemikálií, a proto přežijí za velmi obtížných podmínek, jako je u kyseliny chlorovodíkové (HCI) nebo křemíku tetrachloridu (SICL4). Vysoká mechanická pevnost zatím znamená, že sklíčivo je schopno udržet si formu i když je podrobeno nepřetržitému zatížení.

Grafit Chuck je kritický při zpracování oplatky a růstu krystalů; Hrají primární roli ve všech výrobě v jakékoli fázi, jako je depozice chemických par (CVD), kde zajišťují rovnoměrné ukládání křemíku. Během krájení a leštění poskytují stabilní podporu pro řezání oplatky a povrchové úpravy. Při tepelném zpracování působí jako základna rezistentní na tepelně pro žíhání a dopingové procesy odolného křemíku, což výrazně zvyšuje účinnost a kvalitu výrobní linky.

Jak zajistíme uniformitu výkonu našehografit?

Nejprve, karbonizace. Naše pec má pouze 115 metrů krychlových. Náš technický tým otestuje teplotní pole grafitových produktů v různých oblastech každé pece. Ve stavu nízké teploty (0-200 °), když se teplota začne zvyšovat, ji ovládáme přibližně při ± 10 ° a ve stavu s vysokou teplotou (nad 600 °) jej ovládáme při ± 1 °. Budeme testovat nejen teplotní pole mezi různými grafity, ale také otestujeme povrch a vnitřní teplotu každého kusu grafitového materiálu a ovládáme jej při ± 3 °. Testujeme 8 teplotních bodů v každé peci v karbonizační peci.

Druhým je grafitizace. Jako příklad vezmeme 500 kg, testujeme také 8 teplotních bodů. Vzorky jsou náhodně kontrolovány v libovolné poloze grafitizovaného produktu pro destruktivní testování. Po zničení je testováno 24 bodů. Testy se provádějí odděleně od osy xyz, aby byla zajištěna jeho uniformita. Většina společností v oboru bude testovat pouze osu X nebo nanejvýš osu XY.

Obecní výrobci testují pouze 6-8 bodů a ty lepší testují 12 bodů, zatímco testujeme 24 bodů.

Graphite Chuck Semicorex je nezbytným řešením pro výrobce polysiliconu, kteří hledají vysoce výkonné, spolehlivé a nákladově efektivní nástroje. S pokročilými vlastnostmi materiálu a přesného inženýrství zvyšuje náš produkt účinnost a kvalitu výroby křemíkových destiček v solárním průmyslu. Pro více informací nebo vlastní specifikace nás prosím kontaktujte.