Grafitové kelímky

Smicorex Graphite Crucibles jsou kritickými součástmi ve výrobním procesu polovodiče, zejména ve fázi růstu krystalů. Tyto vysoce výkonné kontejnery jsou navrženy tak, aby odolaly extrémním podmínkám potřebným k produkci vysoce čistého křemíku nebo složených polovodičových krystalů metodami, jako je proces Czochralski (CZ) nebo technika Float Zone (FZ).

Hlavní funkcí grafitových kelímků je odolat a podporovat extrémně vysoké teploty, obvykle nad 2000 ° C, kde jsou často syntetizovány polovodičové materiály třetí generace, jako je křemíkový karbid a nitrid gallia. Krucibles vyrobené z vysoce čistého grafitu vykazují vynikající odolnost vůči vysokým teplotám udržujícím jejich fyzikální a chemické stavy na takových extrémních úrovních bez jakékoli formy rozkladu nebo dokonce metamorfózy. Dobré tepelné vedení grafitovými Cruces znamená, že nejen provádějí teplé tepl rovnoměrně, ale také nastaví stabilní teplotní pole. To vstupuje do hry zásadně během procesů tání a krystalizace, protože jednotné rozdělení teploty umožní růstový materiál za více či méně ekvivalentních podmínek, čímž se sníží defekty krystalů a umožní kvalitní polovodičové krystaly.

V procesech růstu růstu nitridu v křemíku nebo galliovém nitridu (jako je epitaxy páry fáze CVD nebo fyzikální transport páry PVT) se grafitové kelímky používají k držení surovin a poskytování kontrolovaného růstového prostředí. Chemická inertnost kelímku zajišťuje, že chemicky nereaguje s polovodičovým materiálem při vysokých teplotách, čímž udržuje vysokou čistotu materiálu. Zároveň dobrá tepelná vodivost grafitového kelímku pomáhá vytvářet jednotný teplotní gradient a poskytuje ideální podmínky pro růst krystalů a snižuje nečistoty a strukturální defekty.

Chemická inertnost grafitových kelímků je klíčovým rysem při čištění polovodičových materiálů. Jeho vysoce čistý grafitový materiál může izolovat vnější znečištění a zabránit nečistotům vstoupit do roztaveného polovodičového materiálu. Povrch grafitového kelímku může být také potažen (jako je například povlak karbidu křemíku), aby se zvýšila jeho odolnost oxidace a odolnost proti korozi, což dále zajišťuje vysokou čistotu a vysokou stabilitu výrobního procesu.