Grafitová elektroda

V polovodičovém tepelném poli je grafitová elektroda kritickou součástí ohřívací sestavy, která směruje elektrický proud do ohřívací zóny a umožňuje řízenou distribuci teploty v rámci specifického procesu, jako je oxidace, difúze, LPCVD nebo epitaxe. Grafitová elektroda musí zastávat spolehlivou provozní roli při teplotách přesahujících 2000 °C a musí být odolná proti oxidaci, deformaci nebo kontaminaci topného místa.

Grafitová elektroda je vyrobena z vysoce kvalitního jemnozrnného grafitového materiálu, přičemž každá z nich je vyrobena pomocí pokročilého postupu extruze, vysokoteplotní karbonizace a grafitizace. Mikrostruktura grafitu je navržena pro přibližně konstantní elektrický odpor, vysokou tepelnou vodivost a mechanickou stabilitu. Konečným produktem je vysoce čistý tepelný vodič, který udržuje fyzický stav a rovnoměrnou distribuci proudu v prostředí s vysokým výkonem a také rychlé kolísání teploty.

Ultra výkon v našemgrafit

Náš grafit zaručuje vynikající jednotnost výkonu. Za prvé, během procesu karbonizace mají naše pece pouze 115 metrů krychlových. Náš technický tým monitoruje teplotní pole grafitových produktů v různých oblastech každé pece. V počáteční fázi nízké teploty (0-200°C) regulujeme teplotu v rozmezí ±10°C a při vysokých teplotách (nad 600°C) v rozmezí ±1°C. Sledujeme nejen teplotní pole mezi různými částicemi grafitu, ale také povrchovou a vnitřní teplotu každého jednotlivého kusu grafitu a řídíme ji v rozmezí ±3°C. V každé karbonizační peci sledujeme 8 teplotních bodů.

Za druhé, během procesu grafitizace, vezmeme-li jako příklad 500 kg dávku, sledujeme také 8 teplotních bodů. Po grafitizaci náhodně odebíráme vzorky a destruktivně testujeme 24 bodů podél os X, Y a Z, abychom zajistili jednotnost. Většina společností v oboru testuje pouze osu X nebo maximálně osu XY, přičemž typičtí výrobci testují pouze 6-8 bodů a ti lepší 12 bodů. Testujeme 24 bodů.

V polovodičovém tepelném poli je grafitová elektroda kritickou součástí ohřívací sestavy, která směruje elektrický proud do ohřívací zóny a umožňuje řízenou distribuci teploty v rámci specifického procesu, jako je oxidace, difúze, LPCVD nebo epitaxe. Grafitová elektroda musí zastávat spolehlivou provozní roli při teplotách přesahujících 2000 °C a musí být odolná proti oxidaci, deformaci nebo kontaminaci topného místa.

Grafitové elektrody Semicorex mají vynikající elektrickou vodivost, která usnadňuje efektivní dodávku energie s minimálními ztrátami, a mají vynikající tepelnou vodivost, která umožňuje rychlý rovnoměrný přenos tepla v peci. Kombinace nízké tepelné roztažnosti a vysoké mechanické pevnosti snižuje deformaci a praskání během tepelného cyklování a poskytuje stabilní chování po dlouhou dobu životnosti. Každá elektroda je obrobena podle přísných rozměrových tolerancí a jemné povrchové úpravy, aby byl zajištěn konzistentní kontakt a zanedbatelný elektrický odpor na kontaktním povrchu.

S ohledem na specifické požadavky polovodičových procesů může Semicorex navrhnout vlastní návrhy elektrod tak, aby vyhovovaly jakékoli konfiguraci pece a specifikaci výkonu. Mohou být k dispozici různé průměry, délky, typy připojení nebo povrchové úpravy. Je-li to nutné, mohou být použity povlakové materiály, jako je SiC nebo pyrolytický uhlík, aby se podpořila odolnost proti oxidaci a životnost v prostředí s vysokým obsahem kyslíku nebo reaktivních plynů.

Vysoká čistotagrafitový materiálslouží k zajištění neuvěřitelně nízké úrovně kovových nečistot (a plynných nečistot), často více než 99,999 % uhlíku. Takto nízké hladiny nečistot pomáhají zabránit kontaminaci polovodičových destiček během tepelného zpracování. V kombinaci s výraznou hloubkou opracování a leštěnou povrchovou úpravou splňují grafitové elektrody Semicorex mechanickou i chemickou stabilitu nejmodernějších technologií výroby plátků.

Grafitová elektroda Semicorex poskytuje bezkonkurenční výkon v nejnáročnějších tepelných prostředích, ať už se používá v difuzních pecích, epitaxních reaktorech nebo vysokoteplotních zpracovatelských zařízeních. Kombinací vysoké čistoty, přesné geometrie a pokročilého zpracování materiálu přináší Semicorex řešení elektrod, které zajišťuje stabilní vedení proudu, konzistentní ohřev a dlouhodobou provozní spolehlivost, která je nezbytná pro výrobu polovodičů nové generace.