Grafitový ohřívač pro horkou zónu

Grafitový ohřívač Semicorex pro horkou zónu, navržený pro spolehlivý provoz ve vysokoteplotních pecích, je navržen tak, aby vydržel náročné podmínky spojené s procesy, jako je chemická depozice z plynné fáze (CVD), epitaxe a vysokoteplotní žíhání. My ve společnosti Semicorex jsme odhodláni vyrábět a dodávat vysoce výkonný grafitový ohřívač pro horkou zónu, který spojuje kvalitu s nákladovou efektivitou.**

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Homogenní rozložení teplot:Grafitový ohřívač pro horkou zónu je známý svými rovnoměrnými charakteristikami ohřevu, kterých je dosaženo kombinací pečlivého zpracování materiálu a přesného obrábění. Tato homogenita zajišťuje konzistentní teplotní profil po celé topné ploše, minimalizuje teplotní gradienty, které mohou vést k nerovnoměrnému zpracování plátků, snížené výtěžnosti a nekonzistentnímu výkonu zařízení.

Výjimečná odolnost proti korozi:Grafitový ohřívač pro horkou zónu vykazuje pozoruhodnou odolnost vůči řadě korozivních plynů a chemikálií, se kterými se běžně setkáváme při vysokoteplotním zpracování polovodičů. Tato vlastní inertnost zajišťuje dlouhodobou stabilitu a výkon ohřívače, minimalizuje rizika kontaminace a prodlužuje provozní životnost.

Vynikající odolnost proti oxidaci:Na rozdíl od běžného grafitu představuje Graphite Heater For Hot Zone vynikající odolnost proti oxidaci, a to i při zvýšených teplotách. Tato vlastnost je klíčová pro udržení integrity ohřívače a zabránění vzniku částicové kontaminace uvnitř zpracovatelské komory.

Ultra vysoká chemická čistota:Grafitový ohřívač pro horkou zónu je zpracován tak, aby bylo dosaženo ultra vysoké úrovně čistoty, čímž se minimalizuje riziko zanesení nežádoucích kontaminantů do prostředí zpracování polovodičů. Tato výjimečná čistota je nezbytná pro zachování integrity jemných polovodičových materiálů a zajištění požadovaných elektrických a optických vlastností vyrobených zařízení.

Vysoká mechanická pevnost a stabilita:Grafitový ohřívač pro horkou zónu má vynikající mechanickou pevnost a rozměrovou stabilitu při zvýšených teplotách, což umožňuje výrobu robustních komponent ohřívače schopných odolat náročným podmínkám provozu při vysokých teplotách, včetně tepelných cyklů a mechanického namáhání.