Grafitová topná tělesa

Grafitové topné prvky Semicorex se staly základními součástmi při výrobě polovodičů a umožňují přesné a kontrolované tepelné prostředí potřebné pro pokročilé zpracování plátků. Jejich jedinečná kombinace materiálových vlastností, konstrukční flexibility a výkonnostních výhod je činí ideálními pro splnění přísných požadavků na výrobu polovodičových zařízení nové generace. My ve společnosti Semicorex se věnujeme výrobě a dodávání vysoce výkonných grafitových topných prvků, které spojují kvalitu s nákladovou efektivitou.**

Odeslat dotaz

Popis výrobku

1. Přesné řízení teploty pro vylepšené výsledky procesu:

Grafitové topné prvky Semicorex ve spojení se sofistikovanými systémy regulace teploty umožňují přesnou regulaci teploty a rychlý nárůst teploty, což umožňuje výrobcům vyladit parametry procesu a dosáhnout optimálních výsledků.

2. Výjimečná rovnoměrnost vytápění a vodivost:

Grafitová topná tělesa vykazují výjimečnou rovnoměrnost ve své topné struktuře a zajišťují rovnoměrné rozložení tepla po celé topné ploše. Tím se eliminují horká místa a teplotní gradienty, které mohou vést k nekonzistentnímu zpracování plátků, změnám v ukládání filmu nebo defektům v růstu krystalů. A jejich vynikající tepelná vodivost umožňuje efektivní tvorbu tepla a přenos do cílového substrátu nebo procesní komory, tato účinnost minimalizuje spotřebu energie, zkracuje dobu zpracování a přispívá k celkových úsporám nákladů.

3. Odolnost při tepelném namáhání:

Výroba polovodičů často zahrnuje rychlé změny teploty a extrémní tepelné cykly. Grafitové topné články jsou navrženy tak, aby vydržely tyto náročné podmínky a zachovaly si svou strukturální integritu i při značném tepelném namáhání. Tato robustnost zajišťuje konzistentní výkon a prodlouženou provozní životnost, minimalizuje prostoje a snižuje požadavky na údržbu.

4. Rozměrová stabilita při vysokých teplotách:

Udržování přesných rozměrů je zásadní pro přesné umístění plátků a řízení procesu. Nízký koeficient tepelné roztažnosti grafitových topných těles zajišťuje minimální rozměrové změny i při zvýšených provozních teplotách. Tato rozměrová stabilita zaručuje konzistentní vzory ohřevu, přesné řízení teploty a opakovatelné výsledky procesu.

5. Vynikající odolnost proti oxidaci:

Vystavení vysokým teplotám a oxidačnímu prostředí může snížit výkon a životnost topných prvků. Grafitová topná tělesa vykazují vynikající odolnost proti oxidaci a při zvýšených teplotách vytvářejí ochrannou vrstvu oxidu. Tato přirozená pasivační bariéra zabraňuje další oxidaci a degradaci a zajišťuje dlouhodobý výkon a spolehlivost v náročných prostředích pro zpracování polovodičů.

6. Inertní vůči procesním chemikáliím:

Výroba polovodičů využívá širokou škálu reaktivních plynů a chemikálií. Vlastní chemická inertnost grafitových topných prvků je činí vysoce odolnými vůči korozi a degradaci těmito drsnými látkami. Tato kompatibilita zajišťuje jeho dlouhou životnost a zabraňuje kontaminaci citlivých plátků nebo procesních komor.

7. Návrhy na míru pro konkrétní aplikace:

Grafitové topné prvky Semicorex lze přesně opracovat do složitých tvarů a konfigurací, aby splňovaly specifické požadavky různých polovodičových procesů. Tato konstrukční flexibilita umožňuje optimalizovanou distribuci tepla, cílené ohřívací zóny a integraci do různých zpracovatelských zařízení, včetně systémů rychlého tepelného žíhání, komor pro chemické nanášení par a difúzních pecí.