Injektor zapalování

Vstřikovač zapalování Semicorex nebo reaktor zapalování křemenného zapalování je inženýrskou složkou určenou k umožnění chemických procesů s vysokou čistotou, které vyžadují zapalování nebo zahájení reakce. Vstřikovač zapalování, vyrobený z fúzovaného křemene, kombinuje nejlepší vlastnosti fúzovaného křemene (tepelná stabilita, chemická odolnost a tolerance pro strukturální nepřesnosti), aby poskytovalo předvídatelné použití v polovodičových a výzkumných aplikacích. Použití injektoru zapalování je nezbytné v těch procesech, které umožňují zapálení párů plynů nebo reaktivních sloučenin bez možnosti kontaminace, aby se zajistila bezpečnost a přesnost v extrémních aplikacích.

Křemen byl vybrán pro injektor zapalování z důvodu, že křemen poskytuje nejvyšší úroveň čistoty a inertnosti jako materiálu. Kovy a konvenční keramika mohou mít vysokou čistotu, ale nejsou inertní a mohou zavádět stopové kontaminace, proto je obtížné provádět citlivé procesy bez možnosti kontaminace nebo změnit analytická pozorování. Křemen je široce považován za ideální materiál, pokud lze tolerovat tepelný šok, zejména pro prostředí zapalování, kde lze očekávat rychlé změny teploty v důsledku neočekávaných podmínek zapálení. Stejně důležité; Quartz přežívá agresivní chemikálie, aby se zabránilo rušení nebo poškození v důsledku korozivních plynů nebo energie z reakce v prostředí dlouhodobého používání.

Vstřikovač zapalování je navržen tak, aby sloužil jako lokalizovaná reakční zóna a poskytuje čisté a kontrolované prostředí pro vytváření spalovacích nebo plazmatických reakcí. To je užitečné v sektoru výroby polovodičů, přičemž reaktory zapalování mohou být nutné aktivovat prekurzorové plyny, rozkládat komplexní chemické druhy nebo zahájit kroky čištění asistovaných v plazmě. Čistota stěn reaktoru zaručuje, že nežádoucí sekundární reakce mezi komorou a reaktanty nemusí negativně ovlivnit reakci, a proto mohou poskytnout přesnou kontrolu chemické reakce. Optická transparentnost křemene poskytuje schopnosti optického monitorování v reálném čase pro pozorování reakční zóny, zcela neomezené, což je výhodné při experimentální práci nebo výrobě.

Spolu s chemickými a tepelnými prvky je injektor zapalování upřednostňován kvůli jeho usnadnění v přesně vyráběných objektech. Vzhledem k tomu, že komponenta je vyráběna rozměry s vysokou tolerankou, může se také snadno přizpůsobit přímo do reaktorů a integrovat se do existujících systémů nebo být vhodné pro uspořádání konkrétního nástroje nebo nástrojů. Neporézní hladké povrchy vnitřního křemenného reaktoru jsou prospěšné při snižování připojení částic pro snadné čištění, protože vrstvy materiálu připojeného k vnitřním povrchům komory budou po cyklu konzistentní cyklus v důsledku opětovné použitelnosti komponenty. Pomáhá při snižování nákladů a zlepšování účinnosti procesů, což je vysoce relevantní pro výrobní operace s vysokým objemem.