Vnitřní vodicí trubka

Vnitřní vodicí trubka Semicorex je precizně zkonstruovanáuhlík/uhlík (C/C) složkanavrženo pro pokročilé aplikace s vysokým teplotním polem, zejména při růstu vysoce čistých křemíkových krystalů. Jako kritický prvek v pecích pro růst krystalů hraje tato složka ústřední roli při tvarování a stabilizaci tepelného gradientu, zajišťuje optimální tvorbu krystalů a konzistentní kvalitu materiálu.

Vnitřní vodicí trubka, vyrobená z uhlíkového kompozitu s vysokou hustotou vyztuženého uhlíkovými vlákny, nabízí výjimečnou strukturální integritu a tepelnou stabilitu za extrémních podmínek. S hustotou ≥1,35 g/cm³ a ​​pevností v ohybu ≥110 MPa si zachovává mechanickou odolnost i při dlouhodobém vystavení zvýšeným teplotám. Tyto vlastnosti jsou zásadní při výrobě polovodičového křemíku, kde i malé výkyvy teplotních podmínek mohou významně ovlivnit rovnoměrnost krystalů a četnost defektů.

Základní funkce: Přesné ovládání gradientu

Primární úlohou C/C vnitřní vodicí trubice je vytvořit přesné gradientní teplotní pole. Během procesu růstu krystalů křemíku je umístěn přímo nad taveninou, aby:

Přímý tok plynu: Řídí tok inertního plynu argonu a zajišťuje, že páry oxidu křemičitého (SiO) jsou účinně odváděny pryč z povrchu taveniny, čímž se zabraňuje kontaminaci krystalu kyslíkem.

Tepelné stínění: Chrání rostoucí krystal před přímým tepelným zářením ze stěn kelímku a vytváří strmý axiální teplotní gradient nezbytný pro vysokorychlostní a vysoce kvalitní tažení krystalu.

Energetická účinnost: Soustředěním tepla v zóně taveniny a izolací horních součástí pece výrazně snižuje celkovou spotřebu energie.

Technické specifikace a dokonalost materiálu

Naše vnitřní vodicí trubky jsou vyráběny s použitím vysoké hustotyKompozity uhlík/uhlík, poskytující vynikající alternativu k tradičnímu grafitu. Vlastnosti materiálu jsou optimalizovány pro extrémní podmínky polovodičových vakuových pecí:

Hustota: ≥ 1,35 g/cm³

Pevnost v ohybu: ≥ 110 MPa

Koeficient tepelné roztažnosti (CTE): ≤ 1,0 × 10⁻⁶ /K

Tepelná vodivost (pokojová teplota): ≤ 10 W/(m·K)

Průmysl

Jak se průmysl posouvá směrem k větším velikostem plátků (300 mm a 450 mm), požadavky na tepelné pole exponenciálně rostou. Naše vnitřní vodicí trubky jsou kompatibilní s hlavními značkami pecí CZ a lze je přizpůsobit z hlediska geometrie a povlaku.