Jak pokročilé materiály řeší 3 kritické výzvy v designu polovodičové pece

Závod ke zmenšení velikosti tranzistoru a účinnost solárních článků měřítka tlačí zařízení na tepelné zpracování na své limity. V Semicorexu jsme strávili dvě desetiletí spoluprací s předními výrobci polovodičů a PV na řešení opakujícího se bodu bolesti: když standardní materiály selhávají za extrémních podmínek, mohou být ohroženy celé výrobní dávky.

CVD povlaky: brnění pro komponenty procesu

Chemické depozice par (CVD), jako je křemíkový karbid (SIC) a karbid Tantalum (TAC), revolucionizují dlouhověkost složek v drsném prostředí:

Sic povlakVýhody:

Odolává teplotám do 1650 ° C v inertních atmosférách

Snižuje kontaminaci částic v epitaxiálních růstových reaktorech

Rozšiřuje životnost grafitových susceptorů o 3-5x

TAC povlakv difúzních bariérách:

Zabraňuje infiltraci roztaveného křemíku v kelímcích (99,999% zadržování čistoty)

Minimalizuje warpage oplatky během rychlého tepelného zpracování (RTP)

Když teploty přesahují 1600 ° C: výhoda CVD povlaku

To není magie - je to materiálové vědy. Naše proprietární procesní procesy CVD vkládá jak povlaky SIC, tak TAC s přesností na atomové úrovni a vytváří povrchy, které:

Odolat korozi silikonové páry 3x déle než standardní povlaky

Udržujte variaci tloušťky <0,5 um napříč komplexními geometriemi

Eliminujte delaminaci povlaku i při tepelném cyklování

Tichá krize v tepelné uniformitě

V pece na růstu krystalů může nekonzistentní rozdělení teploty proměnit silikonový ingot ve výši 250 000 $ na šrot. Prostřednictvím materiálních inovací jako:

Grafit získaný hustotou (0,18-0,25g/cm³ Design gradientu)

Kompozitní izolátory uhlíku s uhlíkovými uhlíky s <2% tepelnou roztažkovou anizotropií

... pomohli jsme klientům dosáhnout:

✔ ± 1,5 ° C axiální teplotní uniformita v 300 mm czochralski systémy

✔ 40% rychlejší rychlosti chlazení bez praskání ingotu

Proč křemenná čistota záleží více než kdy jindy

Když slévárná slévárna 1 MEMS sledovala defekty částic k jejich leptacím vložce komory, náš roztok bez bublin bez bublin:

Snížená kontaminace kovů o 89% (Analýza ICP-MS)

Prodloužené intervaly preventivní údržby od 3 do 8 měsíců

Dosaženo 99,999% počáteční čistoty s <0,1ppb alkalickým kovovým obsahem

Beyond Specifications: Application Engineering Matters

Zatímco technické specifikace poskytují základní srovnání, výkon v reálném světě závisí na:

• Spojení materiálu pro zpracování - jak komponenty interagují se specifickými chemii (např. Cl₂ vs. SF₆ plazmata)

• Knihovny režimu selhání - naše databáze 1 200+ případů selhání komponent informuje výběr materiálu

• Zakázkové třídění - Úprava grafitové poréznosti/vodivosti napříč průřezy součástí

Semicorex nabízí vysoce kvalitníTantalum karbid potaženýaKarbid křemíku potaženýpřizpůsobené díly. Pokud máte nějaké dotazy nebo potřebujete další podrobnosti, neváhejte se s námi spojit.

Kontaktní telefon # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com