Představujeme materiál oxidu hlinitého

Oteramika oxidu hlinitáKomponenty mají vynikající vlastnosti, jako je vysoká tvrdost, vysoká mechanická pevnost, odolnost proti super opotřebení, vysoká teplotní odolnost, vysoký odpor a dobrý výkon elektrické izolace. Mohou splňovat složité požadavky na výkon polovodičové výroby ve zvláštních prostředích, jako je vakuum a vysoká teplota. Hrají nenahraditelnou a důležitou roli ve výrobních linkách polovodičů. Jejich aplikace pokrývají téměř všechny výrobní zařízení polovodičů a jsou klíčovými součástmi výrobního zařízení polovodičů. S nepřetržitým rozvojem polovodičového průmyslu se význam keramických složek v průmyslovém řetězci stane výraznější.

Jak se velikost funkce čipu zmenšuje, polovodičové zařízení má přísnější požadavky na komponenty a jeho hustota, uniformita, odolnost proti korozi atd. Musí být vyšší. V posledních letech si domácí a zahraniční vědci vyvinuli celou řadu nových procesů ke zlepšení slinovacích podmínek keramických materiálů oxidu hlinitých, aby mohli dosáhnout rychlého zhuštění materiálů při nižších slinovacích teplotách, jako je samopropagační špinavé střílení, zablokování, chladné slinování a osvědčení tlakového tlaku. Mezi nimi je studené slinování přidat do prášku přechodné rozpouštědlo a vylepšit velký tlak (350 ~ 500MPA), aby se zvýšilo přeskupení a difúzi mezi částicemi, aby keramický prášek může být slinný a zhušťován při nižší teplotě (120 ~ 300 ℃) a kratší dobu.

V současné době se globální výrobní proces integrovaného obvodu vyvinul na pokročilejší proces na úrovni 3-nanometrů. Polovodičové vybavení a polovodičové zařízení Precision komponenty musí být nepřetržitě rozvíjeny a vylepšeny a musí být provedena zlepšení procesů, aby vyhovovala výrobním potřebám downstream. Jakmile je polovodičové zařízení aktualizováno, specifické požadavky nového zařízení pro komponenty se synchronně změní. Při vývoji polovodičové technologie se požadavky na výkon ke keramické komponenty z hlinitého zvyšují a vyšší, včetně vyšší odolnosti proti opotřebení, odolnosti proti vysoké teplotě a lepší elektrické izolace. Trendy v oboru mají tendenci vyvíjet vyšší čistotu, jemnější strukturu práškových materiálů aluminy a přijímat pokročilé technologie přípravy.

Alumina keramikamají velmi vysoké požadavky na čistotu, pokud jsou použity v oblasti polovodiče, obecně větší než 99,5%. V oblasti polovodiče jsou keramické části aluminy jednou z klíčových částí polovodičového vybavení. Většina z nich se používá v komorách blíže k oplatce. V polovodičovém vybavení jsou klasifikovány pomocí použití a jsou rozděleny hlavně na prstencové válce, průvodce proudění vzduchu, pevné nakládané těsnění, ručně rozříznuté těsnění, moduly atd.

V procesu leptání jsou za účelem snížení kontaminace oplatky během lepení v plazmě, vysoce čisté aluminové povlaky nebo keramiky oxidu hlinitého se silnou odolností proti korozi vybírány jako ochranné materiály pro leptací komoru a komorní obložení.

V procesu čištění plazmy se používají korozivní plyny obsahující vysoce reaktivní halogenové prvky, jako je fluor a chlor. Plynová tryska je obvykle vyrobena z keramiky oxidu hlinité, která musí mít vysokou plazmatickou rezistenci, dielektrickou sílu a silnou odolnost proti korozi vůči procesům a vedlejším produktům. Současně se používá struktura vnitřních přesných otvorů k přesnému řízení průtoku plynu.

V procesu výroby polovodičů může oplatka podstoupit léčbu vysokoteplotních, jako je leptání, implantace iontů atd. Jako nosič pro přenos oplatky může nosič oplatky zajistit stabilitu a bezpečnost opláchu během přenosového procesu. Nosič oplatky oluženě má dobrou tepelnou vodivost a může účinně rozptýlit a exportovat teplo generované oplatkou, čímž chrání oplatku před tepelným poškozením.

Při manipulaci s oplatky se použije keramická robotická rameno vyrobená z oluženské keramiky. Bude nainstalován na robota manipulace s oplatkou, který je ekvivalentní ruce robota. Je zodpovědný za přenos oplatky na určené místo a jeho povrch je v přímém kontaktu s oplatkou. Protože oplatky jsou velmi náchylné k kontaminaci jinými částicemi, jsou obvykle prováděny ve vakuovém prostředí. V tomto prostředí je pro robotické zbraně většiny materiálů obecně obtížné dokončit práci. Materiály použité k výrobě robotických ramen musí být odolné vůči vysokým teplotám, odolné vůči opotřebení a mít vysokou tvrdost. Vzhledem k požadavkům pracovních podmínek jsou obecně vyrobeny z extrémně vysoce čistých aluminových keramických materiálů a je třeba zaručit přesnost a drsnost povrchu keramických částí.

Semicorex nabízí vysoce kvalitníAlumina keramické částiv polovodiči, včetně sic povlaků a tac povlaků. Pokud máte nějaké dotazy nebo potřebujete další podrobnosti, neváhejte se s námi spojit.

Kontaktní telefon # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com